[发明专利]一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法

权利要求书

1.一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、制作轻量化碳化硅镜坯，所述轻量化碳化硅镜坯包括碳化硅镜板(1)和连接碳化硅镜板(1)背面的碳化硅轻量化结构(2)，所述碳化硅镜板(1)正面为初始离轴非球面；

S2、对初始离轴非球面进行子孔径加工得到迭代初始离轴非球面；

S3、采用预应力加工技术对迭代初始离轴非球面进行抛光得到最终离轴非球面，一种离轴非球面轻量化碳化硅反射镜制作完成。

2.如权利要求1所述的一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法，其特征在于，所述迭代初始离轴非球面和目标离轴非球面面形球差、慧差、像散项系数相同。

3.如权利要求1所述的一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法，其特征在于，所述最终离轴非球面的面形精度RMS为200～300纳米。

4.如权利要求1所述的一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法，其特征在于，S1中所述制作轻量化碳化硅镜坯的具体过程为：根据目标离轴非球面、采用碳化硅粉、通过注塑烧制制成轻量化碳化硅镜坯。

5.采用权利要求1至4中任意一项所述的一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜的制备方法制备的一种离轴非球面碳化硅轻量化反射镜。