[发明专利]振动器件、电子设备以及移动体

说明书

提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。

技术领域

本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。

背景技术

专利文献1记载的振动元件具有：振动体；第一支承部和第二支承部，它们支承振动体，并固定于封装等；连接振动体与第一支承部的一对梁部；以及连接振动体与第二支承部的一对梁部。

专利文献1：日本特开2017-194485号公报

然而，在上述振动元件中，必须以穿过振动体的空隙的方式形成梁部，因此梁部的形状受到制约。因此，不必要振动的频率设计受到制约，从而难以实现不必要振动得到充分抑制的振动元件。

发明内容

本应用例的振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：

振动元件，其具有沿与所述A轴和所述B轴平行的平面且沿所述A轴弯曲振动的振动臂；以及

支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，

所述支承基板具有：

基部，其支承所述振动元件；

支承部，其支承所述基部；以及

梁部，其连接所述基部与所述支承部，

在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。

在本应用例的振动器件中，优选在设所述梁部沿所述A轴弹性变形的弹簧常数为Ka，设所述梁部沿所述B轴弹性变形的弹簧常数为Kb时，

Ka＞Kb，

在从沿所述C轴的方向俯视时，

所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述A轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述A轴的另一侧的第二支承部。

在本应用例的振动器件中，优选在从沿所述C轴的方向俯视时，

所述支承部具有相对于所述振动元件位于沿所述B轴的一侧的第一支承部以及相对于所述振动元件位于沿所述B轴的另一侧的第二支承部。

在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有：

元件基部；

检测臂，其从所述元件基部沿所述B轴朝向两侧延伸；

第一连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴延伸，

第二连结臂，其从所述元件基部沿所述A轴向所述第一连结臂延伸的方向的相反侧延伸；以及

所述振动臂，其包含第一振动臂和第二振动臂，该第一振动臂从所述第一连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，该第二振动臂从所述第二连结臂的末端部沿所述B轴朝向两侧延伸，

所述元件基部经由接合部件固定于所述基部。

在本应用例的振动器件中，优选所述驱动频率f1下的所述振动元件沿所述B轴振动的移位振幅倍率小于0.8。

在本应用例的振动器件中，优选所述振动元件具有振动基板以及配置于所述振动基板的电极，