[发明专利]窄长类米级大口径光学元件高精度面形加工方法

权利要求书

1.一种窄长类米级大口径光学元件的高精度面形加工方法，其特征在于该方法包括如下步骤：

1)点胶上盘：工装夹具的材质为大理石，所述的工装夹具与光学元件点胶面的平面度＜1μm，将胶水用细长的棒子蘸了点至工装夹具上，所述的胶水为液体状，按照近似正方形状将多个光学元件放置在工装夹具上，在空气中静置0.5-1h，所述的光学元件和工装夹具粘牢构成整盘光学元件，在加工结束后采用震动的方式将光学元件取下，且不破坏光学元件表面质量；

2)整盘磨砂：在单轴机上对点胶好的整盘光学元件进行磨砂，采用千分表测量整盘光学元件的平面度，整盘的平面度达到10μm则进入下一步加工，否则继续磨砂；

3)整盘抛光，在单轴机上对磨砂好的整盘光学元件进行抛光，抛光至表面没有砂眼，且采用干涉仪检测整盘面形，整盘反射面形达到10λ则进入下一步，否则继续抛光；

4)下盘，采用震动的方式将光学元件一根一根地取下，清洗干净至下一步；

5)规整：采用修形后的单轴机或处于保形期的单轴机对单根窄长类米级大口径光学元件进行抛光，达到“条纹规则，面形平整”简称规整的目的，采用干涉仪检测单根光学元件面形，当反射面的面形达到λ/2时，进入下一步，否则继续规整；

6)加工完成。

2.根据权利要求1所述的窄长类米级大口径光学元件的高精度面形加工方法，其特征在于所述的规整前应对所述的单轴机进行修形，即采用金刚石丸片对贴有抛光皮的单轴机进行修形，通过温度计控制环境温度在20±2℃，采用陪抛片进行抛光，通过干涉仪检测陪抛片面形，当面形大于0.25λ时，继续修形；当面形小于0.25λ时，即修形完成；所述的单轴机修形好了之后，具有6个月以上的保形期，即在该保形期内，不需要再次修形。