[发明专利]一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷方法有效

专利信息
申请号: 202010207286.6 申请日: 2020-03-23
公开(公告)号: CN111403504B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 王建立;陈涛;刘昌华;曹景太;李洪文;刘洋;张恒 申请(专利权)人: 长春长光奥闰光电科技有限公司
主分类号: H01L31/024 分类号: H01L31/024;H01L27/146
代理公司: 北京惠科金知识产权代理有限公司 11981 代理人: 任立晨
地址: 130000 吉林省长春市*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 一种 大靶面 探测器 阵列 多级 半导体 制冷 方法
【权利要求书】:

1.一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置,其特征是:包括大靶面探测器(1)、冷板(2)、阵列式多级半导体制冷器(3)和热沉(4);

所述大靶面探测器(1)与冷板(2)之间采用高导热的环氧树脂胶粘接,所述阵列式多级半导体制冷器(3)冷端与冷板(2)之间、阵列式多级半导体制冷器(3)热端与热沉(4)之间均采用低温焊料焊接;所述低温焊料指熔点200℃的焊料;

熔融的低温焊料冷却后,在焊缝处形成金相组织,使阵列式多级半导体制冷器(3)与冷板(2)和热沉(4)之间形成无隙的金属连接。

2.根据权利要求1所述的一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置,其特征在于:所述冷板(2)的材料与大靶面探测器(1)基底材料相同,均为氮化铝。

3.根据权利要求1所述的一种大靶面探测器阵列式多级半导体制冷装置,其特征在于:采用2x2阵列的多级半导体制冷器对大靶面探测器进行制冷,半导体制冷器之间采用串联、并联或者串并联的组合方式实现。

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