[发明专利]一种锥度可控的微群孔高效激光加工方法

权利要求书

1.一种锥度可控的微群孔高效激光加工方法，其特征在于，包括以下步骤；

步骤一、激光器发出的光束经扩束镜实现激光扩束，然后进入旋光系统；

步骤二、旋光系统根据微孔加工的孔径及锥度要求旋转激光束，使其满足加工要求；

2.1)调整旋光系统的平移反射镜相对于道威棱镜中轴线的平移量，以控制微孔加工的锥度；

2.2)驱动旋光系统的旋转光楔绕道威棱镜的中轴线正向旋转不同的角度，以控制微孔加工的直径；

步骤三、扫描振镜按被加工零件的微孔加工位置对旋光系统的出射光束进行定位；

步骤四、激光束通过场镜后实现聚焦并作用于被加工零件表面，实现微孔的加工；

步骤五、激光器关闭，驱动扫描振镜的内部反射镜切换至下一微孔的加工位置；

步骤六、循环步骤一至步骤五实现所有微孔的加工。

2.根据权利要求1所述的锥度可控的微群孔高效激光加工方法，其特征在于：步骤一中，激光器发出的光束经扩束镜实现激光扩束后，再经反射镜的反射后进入旋光系统，以实现不同光路的调整。

3.根据权利要求1或2所述的锥度可控的微群孔高效激光加工方法，其特征在于：步骤三具体为：扫描振镜按照被加工零件的微孔加工位置分别驱动其内部的两个反射镜，使旋光系统出射的光束偏转一定的角度，以此实现聚焦光束分别在不同加工位置的定位。