[发明专利]缓冲机构、立式炉及其工艺门

权利要求书

1.一种缓冲机构，设置于立式炉工艺门的支撑臂与密封盘之间，用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力，所述支撑臂用于通过压紧所述密封盘以封闭所述立式炉；所述缓冲机构位于所述支撑臂的上方，以及所述缓冲机构位于所述密封盘的下方；其特征在于，所述缓冲机构包括安装板及缓冲器；

所述安装板设置于所述支撑臂上；

多个所述缓冲器均匀分布于所述安装板上；所述缓冲器包括导杆、导向组件及弹性组件；

所述导杆的顶端与所述密封盘连接，所述导杆的底端通过所述导向组件穿设于所述安装板上，并且所述导杆能相对于所述安装板沿竖直方向滑动；所述导向组件设置于所述安装板上，用于引导所述导杆沿竖直方向滑动；所述弹性组件套设于所述导杆的外侧，并且位于所述安装板及所述密封盘之间，所述弹性组件用于缓冲所述支撑臂向所述密封盘施加的压紧力。

2.如权利要求1所述的缓冲机构，其特征在于，所述导向组件包括直线轴承，所述直线轴承穿设于所述安装板上，所述导杆的底端穿设于所述直线轴承内。

3.如权利要求2所述的缓冲机构，其特征在于，所述导向组件还包括垫圈及紧固件；所述垫圈套设于所述导杆的底端，所述紧固件包括连接部和操作部，所述连接部穿过所述垫圈后与所述导杆的底端连接，所述操作部将所述垫圈固定于所述导杆的底端；所述垫圈及所述紧固件配合用于对所述导杆进行止挡。

4.如权利要求3所述的缓冲机构，其特征在于，所述垫圈内设置有台阶部，所述台阶部与所述导杆的底端配合，且所述台阶部的底面与所述导杆底端的端面平齐设置。

5.如权利要求1所述的缓冲机构，其特征在于，所述弹性组件包括内外嵌套的内弹性件及外弹性件，所述内弹性件的高度大于所述外弹性件的高度，且所述内弹性件的刚性小于所述外弹性件的刚性。

6.如权利要求5所述的缓冲机构，其特征在于，所述弹性组件还包括有用于分隔所述内弹性件及外弹性件的内罩体，所述内罩体为双层结构且套设于所述内弹性件及外弹性件的外侧；所述内罩体的底端设置于所述安装板上。

7.如权利要求6所述的缓冲机构，其特征在于，所述缓冲机构还包括支撑块及外罩体，所述导杆的顶端通过所述支撑块与所述密封盘连接，所述外罩体设置所述支撑块外周且向安装板所在方向延伸设置，所述外罩体套设于所述内罩体顶端外侧。

8.如权利要求1至7的任一所述的缓冲机构，其特征在于，所述安装板为三角形结构，多个所述缓冲器绕所述安装板的轴心均匀分布。

9.一种立式炉工艺门，用于选择性密封立式炉工艺腔室的开口，其特征在于，包括支撑臂、密封盘以及如权利要求1至8的任一所述的缓冲机构；所述安装板通过多个调节螺栓设置于所述支撑臂上，所述调节螺栓用于调节所述安装板的水平状态，所述密封盘与所述导杆的顶端连接；所述支撑臂用于带动所述密封盘密封工艺腔室的开口。

10.一种立式炉，其特征在于，包括有工艺腔室以及如权利要求9所述的立式炉工艺门。