[发明专利]移除硬遮罩的钴兼容性半水基清洗液、其制备方法及应用

权利要求书

1.一种半水基清洗液，其特征在于，由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：

10％-45％的氧化剂、0-1.5％的D-氨基酸氧化酶、0-2.5％的D型氨基酸、0.1％-15％的有机碱、0.001％-15％的螯合剂、0.005％-15％的缓蚀剂、0.05％-15％的羧酸铵、0.005％-1.5％的EO-PO聚合物L42、0.005％-2.5％的钝化剂、20％-60％的水溶性有机溶剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占各组分总质量的百分比。

2.如权利要求1所述的半水基清洗液，其特征在于，所述的氧化剂为过氧化氢、n-甲基吗啉氧化物、过氧化苯甲酰、过氧单硫酸四丁铵、臭氧、氯化铁、高锰酸盐、过硼酸盐、高氯酸盐、过硫酸盐、过氧二硫酸铵、过乙酸、过氧化脲、硝酸、亚氯酸铵、氯酸铵、碘酸铵、过硼酸铵、高氯酸铵、高碘酸铵、过硫酸铵、亚氯酸四甲铵、氯酸四甲铵、碘酸四甲铵、过硼酸四甲铵、高氯酸四甲铵、高碘酸四甲铵、过硫酸四甲铵、过氧化脲和过氧乙酸中的一种或多种；

和/或，所述的氧化剂的质量分数为10％-35％；

和/或，所述的D-氨基酸氧化酶的质量分数为0-0.5％；

和/或，所述的D型氨基酸为D-甘氨酸、D-丙氨酸、D-缬氨酸、D-亮氨酸、D-异亮氨酸、D-苯丙氨酸、D-脯氨酸、D-色氨酸、D-丝氨酸、D-酪氨酸、D-半胱氨酸、D-蛋氨酸、D-天冬酰胺、D-谷氨酰胺、D-苏氨酸、D-天冬氨酸、D-谷氨酸、D-赖氨酸、D-精氨酸和D-组氨酸中的一种或多种；

和/或，所述的D型氨基酸的质量分数为0-1.5％；

和/或，所述的有机碱为四甲基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、苄基三甲基氢氧化铵、胆碱、(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵、三(2-羟乙基)甲基氢氧化铵、单乙醇胺、二甘醇胺、三乙醇胺、异丁醇胺、异丙醇胺、四丁基氢氧化鏻和四甲基胍中的一种或多种；

和/或，所述的有机碱的质量分数为1％-10％；

和/或，所述的螯合剂为1,2-环己二胺-N,N,N',N'-四乙酸、乙二胺四乙酸、次氮基三乙酸、二亚乙基三胺五乙酸、1,4,7,10-四氮杂环十二烷-1,4,7,10-四乙酸、乙二醇四乙酸、1,2-双(邻氨基苯氧基)乙烷-N,N,N',N'-四乙酸、N-{2-[双(羧甲基)氨基]乙基}-N-(2-羟乙基)甘氨酸、乙二胺-N,N'-双(2-羟基苯乙酸)、二氧杂八亚甲基二氮基四乙酸和三亚乙基四胺六乙酸中的一种或多种；

和/或，所述的螯合剂的质量分数为0.005％-5％；

和/或，所述的缓蚀剂为苯并三唑、甲苯三唑、5-苯基-苯并三唑、5-硝基-苯并三唑、3-氨基-5-巯基-1,2,4-三唑、1-氨基-1,2,4-三唑、羟苯并三唑、2-(5-氨基-戊基)-苯并三唑、1-氨基-1,2,3-三唑、1-氨基-5-甲基-1,2,3-三唑、3-氨基-1,2,4-三唑、3-巯基-1,2,4-三唑、3-异丙基-1,2,4-三唑、5-苯硫醇-苯并三唑、卤代-苯并三唑、萘并三唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噻唑、4-甲基-2-苯基咪唑、2-巯基噻唑啉、5-氨基四唑、5-氨基四唑一水合物、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇、2,4-二氨基-6-甲基-1,3,5-三嗪、噻唑、三嗪、甲基四唑、1,3-二甲基-2-咪唑啉酮、1,5-五亚甲基四唑、1-苯基-5-巯基四唑、二氨基甲基三嗪、咪唑啉硫酮、巯基苯并咪唑、4-甲基-4H-1,2,4-三唑-3-硫醇、5-氨基-1,3,4-噻二唑-2-硫醇和苯并噻唑中的一种或多种；

和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为0.005％-5％；

和/或，所述的羧酸铵为草酸铵、乳酸铵、酒石酸铵、柠檬酸三铵、乙酸铵、氨基甲酸铵、碳酸铵、苯甲酸铵、乙二胺四乙酸铵、乙二胺四乙酸二铵、乙二胺四乙酸三铵、乙二胺四乙酸四铵、琥珀酸铵、甲酸铵和1-H-吡唑-3-甲酸铵中的一种或多种；

和/或，所述的羧酸铵的质量分数为0.1％-6％；

和/或，所述的EO-PO聚合物L42的质量分数为0.005％-1.2％；

和/或，所述的钝化剂为1-(苯并三氮唑-1-甲基)-1-(2-甲基苯并咪唑)；

和/或，所述的钝化剂的质量分数为0.005％-2％；

和/或，所述的水溶性有机溶剂为甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇及高级醇、四氢糠醇、卤代醇、乙酸、丙酸、三氟乙酸、四氢呋喃、N-甲基吡咯烷酮、环己基吡咯烷酮、N-辛基吡咯烷酮、N-苯基吡咯烷酮、甲基二乙醇胺、甲酸甲酯、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、四亚甲基砜、乙醚、苯氧基-2-丙醇、乳酸乙酯、乙腈、丙酮、乙二醇、丙二醇、1,3-丙二醇、1,4-丙二醇、二氧杂环己烷、二丙二醇、二乙二醇单甲醚、三乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、三乙二醇乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇单丁醚、三乙二醇单丁醚、乙二醇单己醚、二乙二醇单己醚、乙二醇苯基醚、丙二醇甲醚、二丙二醇甲醚、三丙二醇甲醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇乙醚、丙二醇正丙醚、二丙二醇正丙醚、三丙二醇正丙醚、丙二醇正丁醚、二丙二醇正丁醚、三丙二醇正丁醚、丙二醇苯基醚、二丙二醇甲醚乙酸酯、四乙二醇二甲醚、甘油碳酸酯、N-甲酰基吗啉和磷酸三乙酯中的一种或多种；

和/或，所述的水溶性有机溶剂的质量分数为25％-55％；

和/或，所述的水为去离子水、纯水和超纯水中的一种或多种。