[发明专利]用于移除硬遮罩的钨相容性清洗液、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 202010208618.2 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN113430060A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;徐锦波 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/39;C11D3/28;C11D3/04;C11D3/33;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 硬遮罩 相容性 清洗 制备 方法 应用 | ||
1.一种清洗液，其特征在于，其由下述原料制得，所述的原料包括以下质量分数的组分：0.5％-20％的氧化剂、0.01％-30％的氧化剂稳定剂、0.1％-20％的氟化物、0.1％-20％的有机碱、0.001％-10％的螯合剂、0.001％-10％的缓蚀剂、0.01％-15％的羧酸铵、0.001％-1.5％的表面活性剂、0.001％-2.5％的钝化剂和余量的水，所述的质量分数为各组分质量占原料总质量的百分比；
其中，所述的表面活性剂为EO-PO聚合物L42。
2.如权利要求1所述的清洗液，其特征在于，
所述的氧化剂的质量分数为0.5％-10％，所述的质量分数为所述的氧化剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的氧化剂稳定剂的质量分数为0.5％-20％，所述的质量分数为所述的氧化剂稳定剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的氟化物的质量分数为0.5％-10％，所述的质量分数为所述的氟化物的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的有机碱的质量分数为0.5％-10％，所述的质量分数为所述的有机碱的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的螯合剂的质量分数为0.005％-5％，所述的质量分数为所述的螯合剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为0.005％-5％，所述的质量分数为所述的缓蚀剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的羧酸铵的质量分数为0.1％-5％，所述的质量分数为所述的羧酸铵的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.01％-1.5％，所述的质量分数为所述的表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的钝化剂的质量分数为0.01％-2.5％，所述的质量分数为所述的钝化剂的质量占原料的总质量的百分比。
3.如权利要求2所述的清洗液，其特征在于，
所述的氧化剂的质量分数为1％-5％，所述的质量分数为所述的氧化剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的氧化剂稳定剂的质量分数为1％-10％，所述的质量分数为所述的氧化剂稳定剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的氟化物的质量分数为1％-5％，所述的质量分数为所述的氟化物的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的有机碱的质量分数为1％-5％，所述的质量分数为所述的有机碱的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的螯合剂的质量分数为0.01％-2％，所述的质量分数为所述的螯合剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的缓蚀剂的质量分数为0.01％-2％，所述的质量分数为所述的缓蚀剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的羧酸铵的质量分数为0.5％-3％，所述的质量分数为所述的羧酸铵的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的表面活性剂的质量分数为0.01％-1％，所述的质量分数为所述的表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比；
和/或，所述的钝化剂的质量分数为0.01％-2％，所述的质量分数为所述的钝化剂的质量占原料的总质量的百分比。
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