[发明专利]一种低羟胺水基清洗液、其制备方法及应用在审
申请号: | 202010209649.X | 申请日: | 2020-03-23 |
公开(公告)号: | CN113430069A | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 王溯;蒋闯;冯强强 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C11D1/835 | 分类号: | C11D1/835;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/20;C11D3/22;C11D3/60;C08B37/16;H01L21/02;H01L21/768 |
代理公司: | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人: | 王卫彬;陈卓 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 低羟胺水基 清洗 制备 方法 应用 | ||
1.一种低羟胺水基清洗液,其特征在于,其由下述原料制得,所述的原料包括以下质量分数的组分:0.1%-5%的羟胺类化合物、0.5%-20%的醇胺、0.1%-20%的季铵碱、0.01%-30%的螯合剂、0.1%-20%的聚季铵盐表面活性剂、0.1%-15%的非离子型表面活性剂、0.1%-25%的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物和余量的水,所述的质量分数为各组分质量占原料的总质量的百分比;
其中,所述的聚季铵盐表面活性剂为聚季铵盐-16;
所述的非离子型表面活性剂为EO-PO聚合物L42、EO-PO聚合物L43和EO-PO聚合物L44中的一种或多种。
2.如权利要求1所述的低羟胺水基清洗液,其特征在于,
所述的羟胺类化合物的质量分数为0.5%-5%,所述的质量分数为所述的羟胺类化合物的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的醇胺的质量分数为1%-10%,所述的质量分数为所述的醇胺的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的季铵碱的质量分数为1%-10%,所述的质量分数为所述的季铵碱的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的螯合剂的质量分数为1%-10%,所述的质量分数为所述的螯合剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的聚季铵盐表面活性剂的质量分数为0.5%-5%,所述的质量分数为所述的聚季铵盐表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的非离子型表面活性剂的质量分数为1%-5%,所述的质量分数为所述的非离子型表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物的质量分数为0.5%-10%,所述的质量分数为所述的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物的质量占原料的总质量的百分比。
3.如权利要求2所述的低羟胺水基清洗液,其特征在于,
所述的羟胺类化合物的质量分数为1%-5%,所述的质量分数为所述的羟胺类化合物的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的醇胺的质量分数为5%-7%,所述的质量分数为所述的醇胺的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的季铵碱的质量分数为5%-10%,所述的质量分数为所述的季铵碱的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的螯合剂的质量分数为5%-10%,所述的质量分数为所述的螯合剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的聚季铵盐表面活性剂的质量分数为1%-2%,所述的质量分数为所述的聚季铵盐表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的非离子型表面活性剂的质量分数为1%-2%,所述的质量分数为所述的非离子型表面活性剂的质量占原料的总质量的百分比;
和/或,所述的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物的质量分数为1%-5%,所述的质量分数为所述的环糊精改性烷撑二醇烷基醚化合物的质量占原料的总质量的百分比。
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