[发明专利]一种具有主动控制的三维隔振台

权利要求书

1.一种具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，包括压电陶瓷组件(1)、万向球轴承(2)、拉簧(3)、底座(5)、中间芯板(6)、磁致伸缩驱动器(8)、竖向支撑板(9)及顶座(10)；

所述竖向支撑板(9)与底座(5)相连，所述中间芯板(6)位于竖向支撑板(9)内，所述中间芯板(6)底部采用万向球轴承(2)支撑，中间芯板(6)可在水平面内自由运动，所述万向球轴承(2)位于底座(5)上，所述顶座(10)位于中间芯板(6)的上方，所述顶座(10)与中间芯板(6)之间连接有磁致伸缩驱动器(8)，所述竖向支撑板(9)与中间芯板(6)的侧面之间连接有拉簧(3)与压电陶瓷组件(1)；

在受到外界激励时，中间芯板(6)可适应任一自由度的振动控制，达到三维隔振的效果。

2.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述中间芯板(6)下表面包覆有镜面不锈钢。

3.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述竖向支撑板(9)与底座(5)固连为一体。

4.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述压电陶瓷组件(1)与拉簧(3)、竖向支撑板(9)及中间芯板(6)组成四连杆机构，在拉簧(3)和压电陶瓷组件(1)的控制伸缩运动中具有位移放大效应。

5.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述竖向支撑板(9)与中间芯板(6)的侧面之间还连接有第一位移传感器(4)。

6.根据权利要求5所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述拉簧(3)、压电陶瓷组件(1)及第一位移传感器(4)分别与中间芯板(6)外侧面和竖向支撑板(9)内侧面相连，可使中间芯板(6)主动适应水平面任一方向的运动控制。

7.根据权利要求6所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述压电陶瓷组件(1)和第一位移传感器(4)形成一个闭环控制，可实现隔振台水平方向的时时监测控制。

8.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述磁致伸缩驱动器(8)在中间芯板(6)上均布设置，磁致伸缩驱动器(8)可对竖向的振动进行主动控制。

9.根据权利要求1所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述顶座(10)与中间芯板(6)之间还连接有第二位移传感器(7)。

10.根据权利要求9所述具有主动控制的三维隔振台，其特征在于，所述磁致伸缩驱动器(8)和第二位移传感器(7)形成一个闭环控制，可实现隔振台竖直方向的时时监测控制。