[发明专利]一种具有新型正面结构的PERC电池

权利要求书

1.一种具有新型正面结构的PERC电池，包括P型硅基底（1）和其上表面扩散形成的N+扩散层（2），其特征在于：N+扩散层（2）的上表面设有SiNx钝化层（3），SiNx钝化层（3）上开设有若干条贯穿SiNx钝化层（3）且呈栅线图案分布的开槽（6），SiNx钝化层（3）上和开槽（6）内覆盖有透明导电的TCO膜（4），TCO膜（4）的表面上且对应为主栅的开槽（6）上方印刷有金属主栅（5）。

2.根据权利要求1所述的具有新型正面结构的PERC电池，其特征在于：所述SiNx钝化层（3）为双层结构，由下至上分别为下层钝化膜（31）和上层钝化膜（32），下层钝化膜（31）膜厚为10-15nm，折射率为2.15-2.18，上层钝化膜（32）的膜厚为60-65nm，折射率为2.03-2.12。

3.根据权利要求1或2所述的具有新型正面结构的PERC电池，其特征在于：所述SiNx钝化层（3）的总膜厚为70-80nm，折射率为2.13-2.15。

4.根据权利要求1所述的具有新型正面结构的PERC电池，其特征在于：TCO膜（4）选用ITO导电玻璃，采用PVD溅射法沉积。

5.根据权利要求1所述的具有新型正面结构的PERC电池，其特征在于：所述的N+扩散层（2）的方阻为120-140Ω/sq，结深为0.24-0.26μm。

6.根据权利要求1所述的具有新型正面结构的PERC电池，其特征在于：金属主栅（5）采用低温银浆印刷，银浆的固化需要在保护气体内并在200℃温度以下进行。