[发明专利]一种磁性薄膜环形电感器的制作方法

权利要求书

1.一种磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、在基片上制作下层线圈；

步骤2、采用旋转喷涂法制备磁芯薄膜；

2.1将亚硝酸盐和乙酸盐加入去离子水中，混合均匀，得到氧化液；其中，亚硝酸盐的浓度为0.1506g/L，乙酸盐的浓度为1.4257g/L；

2.2将二价铁盐、可溶性镍盐和可溶性锌盐加入去离子水中，配制得到还原液；其中，二价铁盐的浓度为1.5367g/L，可溶性镍盐的浓度为0.1883～0.2824g/L，可溶性锌盐的浓度为0.0369～0.0924g/L；

2.3采用超声波雾化系统，超声源功率为3W，在基片上沉积磁芯薄膜：首先，分别将步骤2.1得到的氧化液和步骤2.2得到的还原液雾化为粒径为38μm的液滴；然后，将还原液与氧化液分别经两个喷嘴同时喷射至放置于旋转平台上的步骤1处理后得到的基片上，还原液的喷射流量为12～16mL/min，氧化液的喷射流量为12～16mL/min，在旋转平台转速为80～120rpm、温度为90～110℃的条件下，喷涂20～60min，得到磁芯薄膜；

步骤3、在步骤2得到的磁芯薄膜上制作上层线圈，即可得到环形电感器。

2.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤2所述磁芯薄膜的厚度为1～3μm。

3.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤1所述亚硝酸盐为亚硝酸钠；所述乙酸盐为乙酸钠。

4.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤2所述二价铁盐为氯化亚铁；所述可溶性镍盐为氯化镍；所述可溶性锌盐为氯化锌。

5.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤1在基片上制作下层线圈的具体过程为：在硅基片上沉积二氧化硅绝缘层，然后采用电镀工艺制作下层线圈，再沉积一层聚酰亚胺作为绝缘支撑层。

6.根据权利要求1所述的磁性薄膜环形电感器的制作方法，其特征在于，步骤3在磁芯薄膜上制作上层线圈的具体过程为：在步骤2得到的磁芯薄膜上沉积一层聚酰亚胺作为绝缘支撑层，然后采用电镀工艺制作线圈的上层线圈，即可得到环形电感器。