[发明专利]一种温度控制装置及方法

说明书

本发明实施例公开了一种温度控制装置及方法，所述温度控制装置，包括换热单元、三通阀、水箱和水泵；所述换热单元与所述三通阀的第一出口连接；所述三通阀的第二出口与所述水箱的入口连接，所述水箱的出水口与所述水泵的入口连接；所述三通阀的入口安装有温度传感器，所述水泵的出口安装有温度传感器，所述水箱的入口安装有温度传感器。采用本发明可以有效减小泄漏量、实现能源节约，提高带载的温度控制精度。

技术领域

本发明涉及温度控制技术领域，具体涉及一种温度控制装置及方法。

背景技术

现阶段，在生产半导体的过程中需要对负载设备进行温度控制，以为负载设备(例如，半导体加工反应腔)提供较为稳定的循环液入口温度。

现阶段，主要通过加热器恒温装置对负载设备进行温度控制。具体的，加热器恒温装置通常包括安装在加热装置之前的加热器温度传感器，用于测得进入加热装置之前的载冷剂的温度；安装在制冷装置与加热装置之间的混合装置，其混合未经所述制冷装置的载冷剂与经过所述制冷装置的载冷剂，将经混合的载冷剂输送至加热装置；控制器根据进入加热装置之前的载冷剂的温度与加热装置的入口温度设定值的差，经由所述混合装置控制流经制冷装置的载冷剂的流量；根据进入加热装置的温度设定值与实际载冷剂温度的差，使用电控混流三通阀装置对进入加热装置前的载冷剂进行初级恒温，以对负载设备进行温度控制。

现有技术中，需要采用加热器进行制热，进而会导致能源消耗较大，进而在一定程度上增加成本。

发明内容

由于存在以上技术问题，本发明实施例提出一种温度控制装置及方法。

第一方面，本发明实施例提出一种温度控制装置，包括换热单元、三通阀、水箱和水泵；

所述换热单元与所述三通阀的第一出口连接；所述三通阀的第二出口与所述水箱的入口连接，所述水箱的出水口与所述水泵的入口连接；

所述三通阀的入口安装有温度传感器，所述水泵的出口安装有温度传感器，所述水箱的入口安装有温度传感器。

可选的，所述换热单元包括换热器和冷却液回路。

可选的，所述三通阀为分流阀。

可选的，所述水箱的入口还安装有流量传感器。

第二方面，本发明实施例还提出一种由第一方面任一所述温度控制装置执行的温度控制方法，包括：

基于当前时刻前的第一预设时长内，水泵出口温度的最大变化温差、三通阀入口温度的第一最大变化温差、水箱入口温度的最大变化温差，以及预设水泵出口温度及预设水箱入口温度，调整所述预设水箱入口温度得到第一调整温度；

基于所述当前时刻前的第二预设时长内，所述三通阀入口的第二最大每秒变化温差和第二最小每秒变化温差，调整加载速率状态位和卸载速率状态位；

基于所述第一调整温度、调整后的加载速率状态位和卸载速率状态位，生成目标调节温度，以基于所述目标调节温度控制负载设备的温度。

可选的，所述基于当前时刻前的第一预设时长内，水泵出口温度的最大变化温差、三通阀入口温度的第一最大变化温差、水箱入口温度的最大变化温差，以及预设水泵出口温度及预设水箱入口温度，调整所述预设水箱入口温度得到第一调整温度，包括：

确定在当前时刻前的第一预设时长内，水泵出口温度的最大值和最小值、三通阀入口温度的最大值和最小值、水箱入口温度的最大值和最小值；

基于所述水泵出口温度的最大值和最小值确定水泵出口温度的最大变化温差，基于所述三通阀入口温度的最大值和最小值确定三通阀入口温度的第一最大变化温差；并基于所述水箱入口温度的最大值和最小值确定水箱入口温度的最大变化温差；