[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；可动体，相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述可动体重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。

技术领域

本发明涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，专利文献1所记载的惯性传感器具有：可动体，绕摆动轴进行杠杆式摆动；以及第一检测电极以及第二检测电极，配置于可动体的正下方处。

在该惯性传感器中，若施加Z轴方向的加速度，则可动体绕摆动轴进行杠杆式摆动，由此，可动体与第一检测电极之间的静电容量以及可动体与第二检测电极之间的静电容量以反相变化。因此，能够基于静电容量的位移量来检测Z轴方向的加速度。

另外，在第一、第二检测电极分别形成有突起，通过使可动体与突起接触来限制可动体超过突起的位移。

然而，在专利文献1的惯性传感器中，检测电极围绕突起的周围，在可动体与检测电极之间产生电位差。在这种情况下，若可动体粘贴在突起上，则由于可动体与检测电极之间的电位差所导致的静电引力，存在粘贴变得难以被解除的可能。

专利文献1：日本特开2017-146312号公报

发明内容

本实施方式所记载的惯性传感器具有：基板；可动体，具备隔着摆动轴而配置并且绕所述摆动轴的旋转力矩相互不同的第一可动部和第二可动部，所述可动体相对于所述基板绕所述摆动轴摆动；检测电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠；虚设电极，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，与所述可动体同电位；以及突起，设置于所述基板，在俯视观察下与所述第一可动部重叠，在所述可动体侧突出并限制所述可动体的绕所述摆动轴的位移，所述虚设电极位于所述突起与所述检测电极之间并且被设置为包围所述突起的周围的至少一部分，所述突起的与所述可动体的接触部分由绝缘材料构成。

附图说明

图1表示根据第一实施方式的惯性传感器的俯视图。

图2是图1中的A-A线剖面图。

图3是图1中的B-B线剖面图。

图4是图1中的C-C线剖面图。

图5是图1的惯性传感器的俯视图。

图6是表示图1的惯性传感器的变形例的俯视图。

图7是表示根据第二实施方式的惯性传感器的剖面图。

图8是表示根据第二实施方式的惯性传感器的剖面图。

图9是表示根据第三实施方式的惯性传感器的剖面图。

图10是表示根据第三实施方式的惯性传感器的剖面图。

图11是表示根据第四实施方式的惯性传感器的剖面图。

图12是表示根据第四实施方式的惯性传感器的剖面图。

图13是表示根据第五实施方式的惯性传感器的俯视图。

图14是表示根据第六实施方式的智能手机的俯视图。

图15是表示根据第七实施方式的惯性测量装置的分解立体图。

图16是表示具有图15所示的惯性测量装置的基板的立体图。