[发明专利]一种超表面光谱传感系统及光谱仪在审
申请号: | 202010221962.5 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN113447121A | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 叶鑫;唐烽;李波;郑万国;吴卫东;杨李茗;李青芝;邵婷;邓青华;黄进;黎维华;吴之清;石兆华;周晓燕;孙来喜 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 刘凤玲 |
地址: | 621999 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 表面 光谱 传感 系统 光谱仪 | ||
1.一种超表面光谱传感系统,其特征在于,包括:面阵探测器和超表面分光系统;所述超表面分光系统包括多个超表面单元;多个所述超表面单元设置在所述面阵探测器的上表面;每个所述超表面单元均包括多个相同的超原子;所述超表面单元用于使设定谐振波长值的光透过率与非设定谐振波长值的光透过率不同,以达到分光的效果;一个所述超表面单元对应一个设定谐振波长值;所述面阵探测器用于探测所述超表面单元透过的光。
2.根据权利要求1所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,所述超表面分光系统还包括:基底,所述基底的上表面设置所述超表面单元,所述基底的下表面设置所述面阵探测器。
3.根据权利要求1所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,每个所述超表面单元内的多个所述超原子均阵列式排布;每个所述超表面单元内的两个相邻的超原子的边界距离小于对应的设定谐振波长值。
4.根据权利要求1所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,每个所述超表面单元的尺寸均大于第一设定值;所述超表面单元的尺寸为每个所述超表面单元内的边缘超原子围成的区域的面积;所述第一设定值为所有超原子对应的设定谐振波长值中最大的设定谐振波长值的10倍。
5.根据权利要求1所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,所述超表面单元之间的边界距离大于第一设定值;所述第一设定值为所有超原子对应的设定谐振波长值中最大的设定谐振波长值的10倍。
6.根据权利要求2所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,还包括:连接部;所述连接部为光学介质;所述连接部用于将所述面阵探测器固定在所述基底的下表面。
7.根据权利要求1所述的一种超表面光谱传感系统,其特征在于,所述面阵探测器为电荷耦合器件图像传感器或者互补金属氧化物半导体传感器。
8.一种光谱仪,其特征在于,包括:光束准直系统、数据存储处理系统、显示系统和权利要求1-7中任意一项所述的超表面光谱传感系统;所述超表面光谱传感系统中的超表面单元的上表面设置所述光束准直系统;所述超表面光谱传感系统中的面阵探测器与所述数据存储处理系统连接;所述数据存储处理系统与所述显示系统连接。
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