[发明专利]一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统

权利要求书

1.一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，包括超表面分光子系统、消色差成像子系统和面阵探测器；所述面阵探测器上设置有所述消色差成像子系统，所述消色差成像子系统上设置有所述超表面分光子系统；

所述超表面分光子系统包括基底和设置于所述基底上且连续排列的超原子；所述超表面分光子系统分为N×M个区域，每个所述区域包含多个且相同的超原子；每一个所述区域对应一个谐波波长。

2.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，相邻所述区域之间无间隔。

3.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，不同所述区域对应不同的谐振波长。

4.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，相邻所述超原子之间的距离小于最大谐振波长。

5.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述消色差成像子系统包括一个覆盖所有被检测谐波波长范围内的消色差平面超透镜。

6.根据权利要求5所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述超原子所在平面为物面，所述面阵探测器表面为像面，所述超原子通过所述消色差平面超透镜成像在所述面阵探测器的表面上。

7.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述超原子具有单一的谐振波长，所述区域对应的谐波波长是通过调整所述超原子尺寸进行调整的。

8.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述超原子为电介质材料组成的微纳米结构。

9.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述基底的材料为全电介质材料。

10.根据权利要求1所述的一种连续分布集成超表面微型光谱传感系统，其特征在于，所述基底的材料为光学玻璃、硫系玻璃、蓝宝石、光学塑料、二氧化钛、硅、锗、氟化钙、二氧化钒、二氧化铪、二氧化硅、氮化钛、Si-Ge合金、硅-氮化硅合金、氟化钡、氟化镁、氮化硅、氢化硅、二氧化钨、氮化钛、铌酸锂、ITO、TCO、氧化镁、ZnSe、ZnO、ZrO2、锑化铟、砷化铟、碳化硅、氮化镓、碲化铅、硫化锌、III-V族半导体材料中的一种。