[发明专利]一种集成镀膜设备的样品传输装置

权利要求书

1.一种集成镀膜设备的样品传输装置，其特征在于，所述样品传输装置包括：

底座；

气缸，固定在所述底座上；

固定架，固定在所述气缸的上端，随着所述气缸的伸缩，所述固定架沿竖直方向上下移动；

旋转电机，固定在所述固定架上；

转轴，所述转轴的一端固定设置在所述旋转电机的输出端；

真空腔室，所述底座固定在所述真空腔室的底部，所述转轴穿过所述真空腔室的底部；

旋转托盘，固定在所述转轴的另一端设置，且位于在所述真空腔室内；

控制单元，与所述气缸、所述旋转电机电连接。

2.如权利要求1所述的样品传输装置，其特征在于，所述旋转托盘包括：

M个样品平台，均匀设置在所述旋转托盘上；

其中，M≥2，且为正整数。

3.如权利要求2所述的样品传输装置，其特征在于，所述真空腔室包括：

N个镀膜工艺腔室，均匀设置在所述真空腔室内；

其中，N为正整数，且M＝N。

4.如权利要求1所述的样品传输装置，其特征在于，所述样品传输装置包括：

焊接波纹管，设置在所述真空腔室与所述旋转电机之间，且所述中心转轴穿过所述焊接波纹管；

第一密封，所述第一密封设置在所述焊接波纹管的上端；

第二密封，所述第二密封设置在所述焊接波纹管的下端。

5.如权利要求4所述的样品传输装置，其特征在于，所述第一密封为无氧铜垫。

6.如权利要求4所述的样品传输装置，其特征在于，所述第二密封为磁流体密封件和橡胶密封圈。

7.如权利要求1所述的样品传输装置，其特征在于，所述样品传输装置还包括：

P个固定支柱，所述固定支柱一端固定在所述底板上，另一端固定在所述真空腔室的下表面；

其中，P≥2，且P为正整数。

8.如权利要求1所述的样品传输装置，其特征在于，所述样品传输装置还包括：

固定块，所述旋转托盘通过所述固定块固定在所述转轴的上端。

9.如权利要求1所述的样品传输装置，其特征在于，所述旋转电机为步进电机。