[发明专利]一种金刚线切割液及其制备方法有效
| 申请号： | 202010223374.5 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111303981B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 张小飞 | 申请（专利权）人： | 常州高特新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N40/22;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 谢新萍 |
| 地址： | 213000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚 切割 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于采用50微米线径的金刚线切割制备硅片的金刚线切割液，其特征在于，所述金刚线切割液按照质量份数其组成为：极压剂 1-7份，表面活性剂5-15份、消泡剂0.5-2份、润滑剂8-25份、耦合剂1-3份、去离子水 50-100份；
所述表面活性剂为：异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯或异癸醇聚氧乙烯醚磷酸酯与烷基酚聚氧乙烯醚按照1:1的质量比组成；
所述的金刚线切割液的制备方法为：
（1）、按质量份将极压剂、表面活性剂、润滑剂依次加入去离子水中，混合后均匀搅拌10～30分钟至完全溶解；
（2）、向步骤（1）的混合溶液中按质量份依次加入耦合剂和消泡剂，搅拌至均匀。
2.如权利要求1所述的金刚线切割液，其特征在于，所述极压剂为三乙醇胺硼酸酯、乙醇胺硼酸酯。
3.如权利要求1所述的金刚线切割液，其特征在于，所述消泡剂为GP型甘油聚醚或GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚。
4.如权利要求1所述的金刚线切割液，其特征在于，所述润滑剂为四聚蓖麻油酸酯或六聚蓖麻油酸酯。
5.如权利要求1所述的金刚线切割液，其特征在于，所述耦合剂为二乙二醇单丁醚或二丙二醇甲醚。
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