[发明专利]一种大小可调的组合式坩埚热场在审
| 申请号： | 202010223802.4 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111349966A | 公开（公告）日： | 2020-06-30 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;张胜涛;袁文博;范国峰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 桑林艳 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大小 可调 组合式 坩埚 | ||
1.一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于，包括：坩埚上盖(1)、组合式坩埚筒(2)、侧支撑组件(3)和坩埚底(4)，所述组合式坩埚筒(2)为两端开口的筒体，所述组合式坩埚筒(2)的底部安装在坩埚底(4)上，所述坩埚上盖(1)盖合在组合式坩埚筒(2)的顶部开口上，安装后使组合式坩埚筒(2)内形成封闭腔室，所述侧支撑组件(3)通过螺纹安装在组合式坩埚筒(2)的内壁上，且侧支撑组件(3)位于组合式坩埚筒(2)内壁上的高度可调，在侧支撑组件(3)的中心位置上设有中心通孔(30)，籽晶(5)安装在中心通孔(30)处。
2.如权利要求1所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：所述组合式坩埚筒(2)由两个以上结构相同的模块筒(21)组成，每个模块筒(21)的侧壁纵截面呈Z字形，且每相邻两个模块筒(21)通过螺纹实现连接。
3.如权利要求1或2所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：所述侧支撑组件(3)是由至少两个上下叠加的单支撑件(31)组成，所述单支撑件(31)为外径相同、且内径不同的圆环，每个单支撑件(31)的纵截面为上底大、下底小的直角梯形，且直角位于外壁一侧，所有单支撑件(31)叠加后的中心通孔(30)共同形成圆台状的反应室(33)；在侧支撑组件(3)的外侧壁上设有螺纹，所述籽晶(5)被夹持在相邻两个单支撑件(31)之间。
4.如权利要求3所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：所述每个单支撑件(31)是由两个C形结构拼接而成，在每个单支撑件(31)的内侧壁上间隔加工有向圆心方向凸起的插接齿(32)。
5.如权利要求4所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：在侧支撑组件(3)的中心通孔(30)内还设有上保温件(6)，所述上保温件(6)被夹持在一个单支撑件(31)的中心通孔(30)内，籽晶(5)固定在上保温件(6)的下表面上。
6.如权利要求1所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：在坩埚上盖(1)中心开设有测温窗(11)。
7.如权利要求1、2或6任一所述的一种大小可调的组合式坩埚热场，其特征在于：在组合式坩埚筒(2)的外壁上还刻有刻度线。
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