[发明专利]一种薄片载台装夹机构

说明书

本发明公开了一种薄片载台装夹机构，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。它包括弹簧、左夹紧块、铜网、右夹紧块、定位板、滚花螺丝，所述左夹紧块和右夹紧块镶嵌配合，所述左夹紧块的外侧壁和右夹紧块的外侧壁上均设有用于定位弹簧的圆弧槽，所述弹簧分别固定在两个圆弧槽上。本发明可以满足应用于电镜行业铜网存放的要求，第一，可以有效避免样品的污染，增加了实验的可靠性；第二，这种平面夹紧机构，能够很好的保证载网的平整性，会延长载网的使用寿命；第三，还提供了液氮凹槽，能够快速的提供低温环境，大大提高了实验效率。第四，整个机构操作非常简单。

技术领域

本发明涉及一种薄片载台装夹机构，属于扫描电镜、透射电镜、半导体真空配件技术领域。

背景技术

半导体及电镜行业中的很多样品需要利用直径3mm，厚度10~30μm厚的载网作为载体，装有样品的载网需要很好的存放，避免样品受到损坏，并且由于载网还需要保持平整，否则会影响实验效果，于是载网的存放就成了需要考虑的问题，目前市面上还没有这种装夹方案，只能采取密封袋或者随手存放，这样容易造成样品的污染，从而影响实验的可靠性，而且载网容易折弯不再平整，缩短了载网的使用寿命。

发明内容

本发明针对上述背景技术所提及的问题，而采取以下技术方案来实现：

一种薄片载台装夹机构，包括弹簧、左夹紧块、铜网、右夹紧块、定位板、滚花螺丝，所述左夹紧块和右夹紧块镶嵌配合，所述左夹紧块的外侧壁和右夹紧块的外侧壁上均设有用于定位弹簧的圆弧槽，所述弹簧分别固定在两个圆弧槽上，且所述弹簧在左夹紧块和右夹紧块所形成的整体上环绕一周，所述定位板固定连接在右夹紧块一侧，且所述弹簧的两端固定在定位板上，所述定位板上开设有通孔，所述右夹紧块且上开设有螺纹通孔，当所述左夹紧块和右夹紧块处于夹紧状态时，此时所述滚花螺栓一端贯穿通孔并与右夹紧块上的螺纹通孔螺纹连接，且所述滚花螺栓一端端部与左夹紧块一侧相抵，所述铜网固定在左夹紧块和右夹紧块之间。

作为优选实例，所述左夹紧块和右夹紧块上均开设有凹槽，当所述左夹紧块和右夹紧块夹紧形成整体时，两个所述凹槽形成一个封闭的空腔，因部分样品需要低温的实验环境，所以在夹紧铜网的状态下，可以在所述空腔内手动倒入用于冷却铜网的液氮。

本发明的有益效果是：本发明可以满足应用于电镜行业铜网存放的要求，第一，可以有效避免样品的污染，增加了实验的可靠性；第二，这种平面夹紧机构，能够很好的保证载网的平整性，会延长载网的使用寿命；第三，还提供了液氮凹槽，能够快速的提供低温环境，大大提高了实验效率。第四，整个机构操作非常简单。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的俯视图；

图3为图2的A-A向截面图。

图中：弹簧1、左夹紧块2、铜网3、右夹紧块4、定位板5、滚花螺丝6。

具体实施方式

为了对本发明的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本发明。

如图1-3所示，一种薄片载台装夹机构，包括弹簧1、左夹紧块2、铜网3、右夹紧块4、定位板5、滚花螺丝6，左夹紧块2和右夹紧块4镶嵌配合，左夹紧块2的外侧壁和右夹紧块4的外侧壁上均设有用于定位弹簧1的圆弧槽，弹簧1分别固定在两个圆弧槽上，且弹簧1在左夹紧块2和右夹紧块4所形成的整体上环绕一周，定位板5固定连接在右夹紧块4一侧，且弹簧1的两端固定在定位板5上，定位板5上开设有通孔，右夹紧块4且上开设有螺纹通孔，当左夹紧块2和右夹紧块4处于夹紧状态时，此时滚花螺栓6一端贯穿通孔并与右夹紧块4上的螺纹通孔螺纹连接，且滚花螺栓6一端端部与左夹紧块2一侧相抵，铜网3固定在左夹紧块2和右夹紧块4之间。