[发明专利]一种对准系统及光刻机

权利要求书

1.一种对准系统，其特征在于，包括：

对准光束产生单元，用于产生对准光束；

物镜；所述对准光束经过所述物镜后照射到对准标记上并产生一次衍射光；所述一次衍射光包括正级一次衍射光和负级一次衍射光；

第一偏振分光棱镜，位于物镜远离所述对准标记一侧，且位于第一路一次衍射光的出射光路上；所述第一偏振分光棱镜包括入光面和多个出光面；

衍射光回射单元，包括第一衍射光回射单元，所述第一衍射光回射单元位于所述第一偏振分光棱镜的一个出光面，用于将入射到所述第一衍射光回射单元的所述第一路一次衍射光反射至所述第一偏振分光棱镜；

分光元件，与所述第一偏振分光棱镜沿垂直于所述物镜光轴的方向排列，且与所述第一偏振分光棱镜位于所述物镜的光轴的相对两侧，用于将所述第一偏振分光棱镜出射的第一路一次衍射光与第二路一次衍射光合束；其中，所述第一路一次衍射光为所述正级一次衍射光，所述第二路一次衍射光为所述负级一次衍射光；或者，所述第一路一次衍射光为所述负级一次衍射光，所述第二路一次衍射光为所述正级一次衍射光；

干涉信息探测单元，位于所述第一偏振分光棱镜以及所述分光元件的出射光路上，用于获取所述正级一次衍射光和所述负级一次衍射光的干涉光强。

2.根据权利要求1所述的对准系统，其特征在于，所述多个出光面包括第一出光面、第二出光面和第三出光面；所述入光面与所述第一出光面相对，所述第二出光面和所述第三出光面相对；

所述第一衍射光回射单元位于所述第一出光面。

3.根据权利要求2所述的对准系统，其特征在于，所述对准光束产生单元产生的对准光束为P偏振的线偏振光。

4.根据权利要求2所述的对准系统，其特征在于，所述干涉信息探测单元位于所述分光元件远离所述物镜一侧。

5.根据权利要求4所述的对准系统，其特征在于，所述干涉信息探测单元包括第一二分之一波片、第二偏振分光棱镜、第一探测器和第二探测器，所述第一二分之一波片位于所述分光元件与所述第二偏振分光棱镜之间；所述第一探测器和所述第二探测器位于所述第二偏振分光棱镜的出光面。

6.根据权利要求1所述的对准系统，其特征在于，所述多个出光面包括第一出光面、第二出光面和第三出光面；所述入光面与所述第一出光面相对，所述第二出光面和所述第三出光面相对；

所述第一衍射光回射单元位于所述第一偏振分光棱镜的所述第一出光面；

所述衍射光回射单元还包括第二衍射光回射单元，所述第二衍射光回射单元位于所述分光元件远离所述第一偏振分光棱镜一侧，用于将入射到所述第二衍射光回射单元的所述第二路一次衍射光反射至所述分光元件。

7.根据权利要求6所述的对准系统，其特征在于，所述干涉信息探测单元包括第一干涉信息探测单元和第二干涉信息探测单元，所述第一干涉信息探测单元位于所述分光元件远离所述物镜一侧，所述第二干涉信息探测单元位于所述第一偏振分光棱镜远离所述分光元件一侧。

8.根据权利要求7所述的对准系统，其特征在于，所述第一干涉信息探测单元包括第一二分之一波片、第二偏振分光棱镜、第一探测器和第二探测器，所述第一二分之一波片位于所述分光元件与所述第二偏振分光棱镜之间；所述第一探测器和所述第二探测器位于所述第二偏振分光棱镜的出光面；

所述第二干涉信息探测单元包括第二二分之一波片、第三偏振分光棱镜、第三探测器和第四探测器，所述第二二分之一波片位于所述第一偏振分光棱镜与所述第三偏振分光棱镜之间；所述第三探测器和所述第四探测器位于所述第三偏振分光棱镜的出光面。