[发明专利]一种导模法生长单晶的模具及组件及加工方法

说明书

一种导模法生长单晶的模具，包括相对设置的内侧模板、外侧模板，相对设置的内侧模板、外侧模板之间间隔熔体流过的狭缝，内侧模板、外侧模板的相对内壁为光滑表面，还在内侧模板的上端面开设内侧倒角，还在外侧模板的上端面开设外侧倒角，内侧倒角和外侧倒角相对设置，用于控制晶体形状的厚度，还在内侧模板、外侧模板的侧壁上开设供溶体进入狭缝的过孔，本发明中，相对的两个模板之间内壁光滑无阻力，拉制时利用毛细原理，生长处于狭缝形状相同的晶体。

技术领域

本发明涉及单晶拉制技术领域，尤其涉及一种导模法生长单晶的模具及组件及加工方法。

背景技术

导模法是从熔体中生长异型单晶材料的方法，生长的单晶通常为薄片状等。其基本原理就是通过放置在熔体中的模具，模具通常为开狭缝，熔体经狭缝，通过毛细作用，从坩埚底部持续的供应到顶部，在顶部通过籽晶开始晶体生长。

导模法生长晶体的模具，形成狭缝是必须的要求，宽度依照生长晶体原材料熔体的粘度等特性决定，一般在几百微米到几个微米，材料一般与坩埚材料相同；同时要求狭缝宽度均匀，两侧光滑。如专利号为CN201820300241.1的导模板。该模板存在狭缝距离无法控制，熔体上升受阻的问题。

发明内容

有必要提出一种导模法生长单晶的模具。

一种导模法生长单晶的模具，包括相对设置的内侧模板、外侧模板，相对设置的内侧模板、外侧模板之间间隔熔体流过的狭缝，内侧模板、外侧模板的相对内壁为光滑表面，还在内侧模板的上端面开设内侧倒角，还在外侧模板的上端面开设外侧倒角，内侧倒角和外侧倒角相对设置，用于控制晶体形状的厚度，还在内侧模板、外侧模板的侧壁上开设供溶体进入狭缝的过孔。

优选的，内侧倒角和外侧倒角的端面为平面或弧形面。

优选的，还在内侧模板、外侧模板的侧壁的底部开设过孔。

优选的，还在内侧模板的外壁上部开设内侧缺角，还在外侧模板的外壁上部开设外侧缺角，

优选的，所述内侧模板、外侧模板为平板件，用于生产平条状薄片晶体。

优选的，所述内侧模板、外侧模板为圆环状，内侧模板、外侧模板之间间隔的狭缝也为圆环状，用于拉制环壳状薄壁晶体。

优选的，所述内侧模板、外侧模板为棱柱状，内侧模板、外侧模板之间间隔的狭缝也为棱柱状，用于拉制棱柱体薄壁晶体。

一种导模法生长单晶的组件，其特征在于：包括坩埚、模具、盖板，所述坩埚的顶部敞口，用于盛放熔体和置放模具，所述模具的宽度小于坩埚的宽度，以使模具的两侧侧壁不与坩埚内壁接触，所述模具的内侧缺角和外侧缺角具有相同开槽高度，且开槽高度与坩埚的侧壁高度相同，所述盖板为一平板，在盖板的中部开设贯通卡槽，所述卡槽的开槽形状与模具的缺角形状匹配，盖板的卡槽搭接在模具的缺角端面上，盖板的外侧边缘搭接在坩埚的侧壁上。

一种导模法生长单晶的模具的加工方法，其特征在于：

机械加工内侧模板、外侧模板；

对内侧模板、外侧模板的内壁进行机械抛光，形成光滑平面。

本发明中，相对的两个模板之间内壁光滑无阻力，拉制时利用毛细原理，生长处于狭缝形状相同的晶体。

附图说明

图1、2为生产平条状晶片的模具的主视图和左视图。

图3、4为组件的主视图和左视图。

图5为盖板的示意图。

图6为组件拉晶示意图。

图7、8为图6中两种状态示意图。图7中，显示了拉制较厚晶片的示意图。图8为拉制较薄晶片的示意图。