[发明专利]一种同时拉制多根硅芯的高频线圈在审
申请号: | 202010225971.1 | 申请日: | 2020-03-26 |
公开(公告)号: | CN111155171A | 公开(公告)日: | 2020-05-15 |
发明(设计)人: | 戚振华 | 申请(专利权)人: | 戚振华 |
主分类号: | C30B28/10 | 分类号: | C30B28/10;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 471000 河南省洛阳市洛龙区展*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 同时 拉制 多根硅芯 高频 线圈 | ||
一种同时拉制多根硅芯的高频线圈,涉及高频线圈技术领域,本发明通过在高频线圈主体(2)上设置多个拉制孔(3),然后在冷却介质通道上设置冷却介质引流通道,将冷却介质向高频线圈中部引流,实现多根硅芯的同时拉制及降低高频线圈中部温度的目的,有效的提高了高频线圈的使用寿命,本发明具有结构简单,制造方便等特点,特别适合在多晶硅行业推广实施。
【技术领域】本发明涉及高频线圈技术领域,具体涉及一种同时拉制多根硅芯的高频线圈。
【背景技术】
已知的,由于硅芯的后续产品被广泛应用于太阳能发电、半导体、军工等领域,所以对硅芯的需求量也越来越大,而现有的硅芯在生产过程中,大多使用的是一种一次同时拉制五根或六根硅芯的高频线圈,其工作原理为:工作时通过给高频线圈通入高频电流,使高频线圈对原料棒进行感应加热,加热后的原料棒上端头形成融化区,然后利用籽晶夹头带动籽晶穿过高频线圈的拉制孔后插入原料棒上端的熔化区,待籽晶的端头与熔液熔为一体后,然后慢慢提升籽晶,熔化后的原料就会跟随籽晶上升进而形成新的柱形晶体,该柱形晶体便是硅芯的制成品。
经检索发现,在先申请的多项涉及硅芯拉制的高频线圈,通过实验和应用发现,由于高频线圈上冷却介质通道为环形,只能对高频线圈的外圈进行冷却,对高频线圈的中心部位冷却效果不佳,最终导致高频线圈中部温度过高,在使用一段时间后,高频线圈中部极易发生打火造成高频线圈损坏,同时高频线圈中部极易出现裂纹及隐裂纹等现象,大大降低了高频线圈的使用寿命。
【发明内容】
鉴于背景技术中存在的不足,本发明公开了一种同时拉制多根硅芯的高频线圈,本发明通过在高频线圈主体上设置多个拉制孔,然后在冷却介质通道上设置冷却介质引流通道,将冷却介质向高频线圈中部引流,实现降低高频线圈中部的温度目的,本发明具有结构简单,加工方便等特点。
为了实现上述发明的目的,本发明采用如下技术方案:
一种同时拉制多根硅芯的高频线圈,包括高频线圈主体、拉制孔、拉制孔或化料孔、放射状导流槽和开口,在所述高频线圈主体的中部设有拉制孔或化料孔,在拉制孔或化料孔外围的高频线圈主体上设有至少两个拉制孔,在拉制孔或化料孔的内缘面上设有贯通至高频线圈主体外缘面的开口,在拉制孔或化料孔的内缘面上设有放射状导流槽,所述放射状导流槽由拉制孔或化料孔向外延伸至除了开口以外的每两个拉制孔之间,在高频线圈主体的右侧面设有向中心位置内陷的凹陷平面,在高频线圈主体的右侧面或左侧面或外缘面上设有冷却介质通道,在冷却介质通道上对应放射状导流槽端头处分别设有向放射状导流槽凹陷的冷却介质引流通道,所述冷却介质通道的进口和出口分别设置在开口的两侧,冷却介质通道的进口和出口分别连接连接座形成所述的同时拉制多根硅芯的高频线圈。
所述的同时拉制多根硅芯的高频线圈,所述开口的形状为Y型开口或斜开口或直开口中的任意一种。
所述的同时拉制多根硅芯的高频线圈,在高频线圈主体的右侧面或左侧面上设置冷却介质通道为,在高频线圈主体的右侧面或左侧面上设置冷却介质通路,在冷却介质通路上对应放射状导流槽端头处分别设有向放射状导流槽凹陷的凹槽,在所述冷却介质通路和凹槽上分别设有冷却介质通路盖板和凸起盖板。
所述的同时拉制多根硅芯的高频线圈,在高频线圈主体的右侧面或左侧面上设置冷却介质通道的替换结构为,在高频线圈主体的右侧面或左侧面上设置冷却介质通路,在冷却介质通路上对应放射状导流槽端头处分别设有向放射状导流槽凹陷的凹槽,在所述冷却介质通路和凹槽内设有与冷却介质通路和凹槽内侧壁贴合的铜管,通过钎焊或铜焊或银焊将铜管焊接在冷却介质通路和凹槽内,所述铜管的两端头分别为冷却介质的进口和出口。
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