[发明专利]一种用于微纳力测量的力源装置及其实现方法有效
申请号: | 202010226605.8 | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN111220309B | 公开(公告)日: | 2020-07-21 |
发明(设计)人: | 徐立;王淑香;郑培亮;李闯;李倩;童军杰 | 申请(专利权)人: | 广东省计量科学研究院(华南国家计量测试中心) |
主分类号: | G01L5/00 | 分类号: | G01L5/00;G01L25/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郭浩辉;麦小婵 |
地址: | 510000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 微纳力 测量 装置 及其 实现 方法 | ||
1.一种用于微纳力测量的力源装置,其特征在于,包括上基板、下基板、微纳力源阵列、弹性支撑结构、控制系统以及输出所述微纳力源阵列产生的标准微纳力值的输出探针;
所述上基板通过所述弹性支撑结构与所述下基板连接,所述微纳力源阵列布设于所述上基板与所述下基板之间;
所述微纳力源阵列包括若干个阵列模块,每一所述阵列模块由一组叉指电容构成,每一组所述叉指电容设于所述上基板与所述下基板之间;
所述微纳力源阵列具有多列所述阵列模块,每一列所述阵列模块组成一组阵列模块组,同一组阵列模块组的阵列模块输出的微纳力值为同一数量级,且不同阵列模块组的阵列模块输出的微纳力值为不同数量级;
每一所述阵列模块通过所述控制系统分别与外接电源电连接,所述控制系统用于根据预设输出力值选择对应的阵列模块接通电源,以使所述微纳力源阵列产生与所述预设输出力值相对应的标准微纳力值。
2.根据权利要求1所述的用于微纳力测量的力源装置,其特征在于,每一所述阵列模块组均包括5个阵列模块,且同一组的5个阵列模块输出的微纳力值的比为1:1:2:2:5。
3.根据权利要求2所述的用于微纳力测量的力源装置,其特征在于,每一所述阵列模块组中的阵列模块为按照输出微纳力值的比呈中心对称位置排列为1:2:5:2:1。
4.根据权利要求1所述的用于微纳力测量的力源装置,其特征在于,所述用于微纳力测量的力源装置还包括底板,所述下基板支撑在所述底板上。
5.根据权利要求1所述的用于微纳力测量的力源装置,其特征在于,所述上基板及所述下基板均为四层结构基板,所述四层结构基板依次由上绝缘层、电路层、下绝缘层、基底层连接而成;所述上绝缘层和所述下绝缘层均用于将每一所述阵列模块进行固定并相互绝缘;所述电路层用于将每一所述阵列模块分别与所述电源相连接。
6.一种用于如权利要求1~3任一项所述的用于微纳力测量的力源装置的实现方法,其特征在于,包括:
通过控制系统接收用户输入的微纳力需求指令;
根据微纳力源阵列的阵列模块固有参数对所述微纳力需求指令进行分析,得到微纳力值分解结果;
根据所述微纳力值分解结果将相应的阵列模块接通电源,以使所述微纳力源阵列产生与用户需求相对应的标准微纳力值,并通过所述输出探针将所述标准微纳力值进行输出。
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