[发明专利]一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置

权利要求书

1.一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，其特征在于：包括长方体形状的收集器外壳（1），收集器外壳（1）两侧内壁上分别设置一块具有4层滑道（2）的四氟板（3），收集器外壳（1）内还设有7块头尾联接的可移动滑板（4），可移动滑板（4）的两侧安装在四氟板（3）上的滑道（2）内沿滑道（2）滑动，位于中间位置的可移动滑板（4）为背面软损伤加工设备的喷枪联接板，其安装在最上层的滑道（2）内且其中心位置设有长方形的喷枪架穿孔（5），与中间位置的可移动滑板（4）相邻的两块可移动滑板（4）安装在第二层的滑道（2）内，与第二层滑道（2）内的可移动滑板（4）相邻的两块可移动滑板（4）安装在第三层的滑道（2）内，位于两端的两块可移动滑板（4）安装在最底层的滑道（2）内，每块可移动滑板（4）的两端分别设置翻边Ⅱ（9），喷枪联接板两端的翻边Ⅱ（9）方向相同，其余可移动滑板（4）两端的翻边Ⅱ（9）方向相反，相邻两块可移动滑板（4）通过方向相反的翻边进行联接。

2.根据权利要求1所述的一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，其特征在于：所述收集器外壳（1）的两侧分别设有向外的翻边Ⅰ（6），每侧翻边Ⅰ（6）上开设3个螺纹孔（7），通过螺纹孔（7）和螺栓将收集装置固定在背面软损伤加工设备上。

3.根据权利要求1所述的一种硅片背面软损伤加工过程中用粉尘油污收集装置，其特征在于：所述喷枪联接板上表面设有一层密封垫，通过喷枪联接板上开设的密封垫固定孔（8）固定密封垫。