[发明专利]层叠型压电陶瓷及其制造方法、层叠型压电元件和压电振动装置

权利要求书

1.一种层叠型压电陶瓷，其特征在于：

其是通过将压电陶瓷层和内部电极层交替层叠而得到的，

所述压电陶瓷层不含铅作为构成元素，以组成式Li_xNa_yK_1－x－yNbO₃所示的钙钛矿型化合物为主要成分，其中，0.02＜x≤0.1，0.02＜x+y≤1，相对于该主要成分100摩尔含有0.2～3.0摩尔的Li，

所述内部电极层由含有80质量％以上的银的金属构成，

所述主要成分以外的Li化合物非均匀分布于所述层叠型压电陶瓷中。

2.如权利要求1所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

在用与层叠方向平行的面截断所述层叠型压电陶瓷而得到的截面中，测定Li浓度相对于Nb浓度的比C_Li/C_Nb时，所述Li化合物以C_Li/C_Nb≥0.2的测定点数为全部测定点数的5％以下的方式非均匀分布。

3.如权利要求1所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述Li化合物偏倚于所述层叠型压电陶瓷的层叠方向最外表面或者所述内部电极层或其附近。

4.如权利要求3所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述Li化合物以C_Li/C_Nb≥0.2的测定点数中位于从所述内部电极到所述内部电极的平均厚度t_avg以内的距离的区域内的测定点数的比例为80％以上的方式非均匀分布。

5.如权利要求3所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述Li化合物以C_Li/C_Nb≥0.2的测定点数中位于从所述层叠方向最外表面到所述平均厚度t_avg的3倍以内的距离的区域内的测定点数的比例为80％以上的方式非均匀分布。

6.如权利要求3所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述Li化合物以C_Li/C_Nb＞0的测定点数中位于从所述内部电极到所述内部电极的平均厚度t_avg以内的距离的区域内的测定点数的比例为0.15％以上的方式非均匀分布。

7.如权利要求3所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述Li化合物以C_Li/C_Nb＞0的测定点数中位于从所述层叠方向最外表面到所述平均厚度t_avg的3倍以内的距离的区域内的测定点数的比例为0.15％以上的方式非均匀分布。

8.如权利要求1～7中任一项所述的层叠型压电陶瓷，其特征在于：

所述压电陶瓷层相对于所述主要成分100摩尔含有：

0.2～5.0摩尔的选自Ca、Sr和Ba中的至少1种碱土金属元素；

0.2～2.0摩尔的Mn；和

0.1～3.0摩尔的Si。

9.一种层叠型压电陶瓷的制造方法，其用于制造权利要求1～8中任一项所述的层叠型压电陶瓷，该制造方法的特征在于，包括：

准备含有原料粉末和粘合剂的生片的步骤，该原料粉末以组成式Li_xNa_yK_1－x－yNbO₃所示的钙钛矿型化合物为主要成分，其中，0.02＜x≤0.1，0.02＜x+y≤1，相对于该主要成分100摩尔含有0.2～3.0摩尔的Li，不含铅作为构成元素；

准备含有银含量为80质量％以上的金属粉末的导电性膏的步骤；

在所述生片上，由该导电性膏形成导体层的步骤；

将形成有该导体层的生片层叠，使该生片彼此粘接，得到生成型体的步骤；和

从该生成型体中除去粘合剂后，以850℃以上的温度进行5小时以上的烧制，得到烧制体的步骤。