[发明专利]一种间接驱动金腔靶及其制造方法

权利要求书

1.一种间接驱动金腔靶，其特征在于，包括入射窗口、金腔体、支撑垫片及固定靶，所述入射窗口采用金箔材料制作而成，入射窗口为圆形结构，其中心开设有入射孔，所述金腔体采用金材料制作而成，所述金腔体为圆柱体结构，所述金腔体的内部开设有与所述金腔体同心的且贯穿所述金腔体两端的空腔，所述空腔包括上端圆孔、圆锥孔及下端圆孔，所述下端圆孔的直径小于所述上端圆孔的直径，所述圆锥孔连接所述上端圆孔与所述下端圆孔，所述固定靶为多层圆形结构，所述入射窗口设置于所述金腔体设置上端圆孔的一侧，所述固定靶设置于所述金腔体设置下端圆孔的一侧，所述入射窗口、所述金腔体、所述固定靶的圆心重合，所述支撑垫片上设置有安装圆孔，所述支撑垫片固定于所述金腔体的外部，所述支撑垫片与所述固定靶之间形成空隙。

2.如权利要求1所述的一种间接驱动金腔靶，其特征在于，所述入射窗口的直径为2.5mm，厚度为20μm，所述入射孔的直径为800μm。

3.如权利要求1所述的一种间接驱动金腔靶，其特征在于，所述金腔体的直径为2.5mm，厚度为0.7mm，所述上端圆孔的直径为1.4mm，所述下端圆孔的直径为0.6mm，所述圆锥孔的圆锥角为55度。

4.如权利要求3所述的一种间接驱动金腔靶，其特征在于，所述支撑垫片为正方形结构，采用不锈钢材料制作而成，所述支撑垫片的边长为10mm，厚度为0.5mm，所述安装圆孔的直径为2.6mm。

5.如权利要求1所述的一种间接驱动金腔靶，其特征在于，所述固定靶的直径为4.0mm，所述固定靶设置为四层，第一层为聚苯乙烯层，厚度为25-30μm，第二层为金层，厚度为1.5μm，第三层为铝台阶层，所述铝台阶层的基底厚度为35μm，台阶高度为10-20微米，第四层为待测材料层，厚度为7.5-20微米。

6.一种间接驱动金腔靶的制造方法，用于制备权利要求1-5任一项所述的间接驱动金腔靶，包括以下步骤：

步骤一、加工金腔体；采用直径为2.5mm的金圆棒作为原材料，采用金刚石切割出0.7mm的厚度，对金圆棒进行钻孔加工，钻孔时采用热熔胶将金圆棒固定在基座上，钻头根据空腔的形状采用三段式结构，空腔一次加工成型，在钻头和金圆棒表面对齐时，通过操作显微镜进行观察，定义钻头与金圆棒端面刚接触位置为零点，钻头步进相应的距离便可加工金腔体；

步骤二、加工入射窗口及固定靶；入射窗口及固定靶的各个部件采用飞秒激光进行加工形成圆形结构，入射窗口的直径为2.5毫米，入射窗口上加工形成入射孔；

步骤三、装配金腔体及支撑垫片；制备一个装配夹具，装配夹具包括圆孔垫片及平板玻璃，圆孔垫片固定放置于平板玻璃上，圆孔垫片的中部形成固定圆孔，圆孔垫片的厚度等于空隙的宽度，将金腔体放置于固定圆孔内，将支撑垫片套设于金腔体的外部并通过粘合剂固定；

步骤四、固定入射窗口与金腔体；操作显微镜下，在显示屏上以空腔的圆心作为圆心做直径为2.5mm和0.8mm的同心圆，在将入射窗口放置于金腔体的一侧，入射窗口的外边缘与显示屏上直径为2.5mm的圆对准，入射孔与显示屏上直径为0.8mm的圆对准，将入射窗口与金腔体固定；

步骤五、组装固定靶；将聚苯乙烯层、金层、铝台阶层、待测材料层依次通过黏胶固定，连接牢靠后，将固定靶与金腔体固定。

7.如权利要求6所述的一种间接驱动金腔靶的制造方法，其特征在于，所述步骤一中，钻头的转速为2500-3000r/min。

8.如权利要求6所述的一种间接驱动金腔靶的制造方法，其特征在于，所述步骤四中，在固定入射窗口与金腔体时，先采用细丝在连接面的两个对称位置点502胶，瞬时固化后，再用503胶用细丝沿着入射窗口的边缘涂满，放置24h固化。