[发明专利]一种VAD喷灯清洁装置及其清洁方法

权利要求书

1.一种VAD喷灯清洁装置，其特征在于，包括：

清扫气体供应装置，用于产生和排出喷灯清洁用的气体；

进气管路切换机构，具有两个进气端，一个出气端，用于选择切换打开两个进气端的其中一个管路，并关闭另一个管路；所述进气管路切换机构的其中一个进气端用于连接原料进气管；

喷灯组进气管，一端连接所述进气管路切换机构的出气端，另一端连接喷灯组进气端；

清扫气体支管，一端连接所述清扫气体供应装置，另一端连接进气管路切换机构的另一个进气端；

沉积腔体抽风管，设置在喷灯组的排气端，用于将粉体杂质吸出喷灯组外部。

2.根据权利要求1所述的VAD喷灯清洁装置，其特征在于，所述进气管路切换机构包括：

三通管，所述三通管具有两个进气端，一个出气端；

自动阀，设置在所述原料进气管和所述清扫气体支管处，所述自动阀能够控制管路的开、闭。

3.根据权利要求2所述的VAD喷灯清洁装置，其特征在于，所述沉积腔体抽风管，焊接于沉积腔体侧面、正对所述喷灯组的排气端，所述沉积腔体抽风管通过软式导排气管密封连接所述喷灯组的排气端，所述软式导排气管能够拆卸。

4.根据权利要求1-3任一项所述的VAD喷灯清洁装置，其特征在于，所述喷灯组由一只包灯和一只芯灯组成，所述包灯和所述芯灯均为多层结构，每层都有独立的进气端；所述进气管路切换机构、所述喷灯组进气管、所述清扫气体支管均对应所述包灯和所述芯灯的每一层设置。

5.根据权利要求4所述的VAD喷灯清洁装置，其特征在于，所述清扫气体供应装置上分别设置有调压阀、流量计、自动阀和压力表；每个清扫气体支管上设有单独的流量计和自动阀。

6.根据权利要求5所述的VAD喷灯清洁装置，其特征在于，还包括可编程逻辑控制器，所述清扫气体供应装置与所述可编程逻辑控制器相连，所述可编程逻辑控制器用于控制所有自动阀的开闭。

7.一种VAD喷灯清洁装置的清洁方法，其特征在于：包括以下步骤：

S1，控制生产原料气体供应柜停止工作；

S2，安装软式导排气管，将软式导排气管一端连接到喷灯组的排气端，另一端连接到沉积腔体抽风管；

S3，控制生产原料气体供应柜的原料进气管上的自动阀关闭，控制清扫气体供应装置上的自动阀打开，并启动清扫气体供应装置向喷灯组通入清扫气体，同时控制沉积腔体抽风管一端开始抽气，将喷灯组内的粉体杂质吸出喷灯外部，进入废气回收部。

8.根据权利要求7所述的VAD喷灯清洁装置的清洁方法，其特征在于：在步骤S3中，采用可编程逻辑控制器控制所有自动阀的开闭。

9.根据权利要求8所述的VAD喷灯清洁装置的清洁方法，其特征在于：在步骤S3中，通过可编程逻辑控制器控制各个自动阀按顺序打开一段设定的时间后关闭。

10.根据权利要求9所述的VAD喷灯清洁装置的清洁方法，其特征在于：在步骤S3之前，设定喷灯内部各层空间吹扫流量正比于喷灯内部各层空间体积，并在步骤S3中通过调节流量计以调节喷灯内部各层实际的流量。