[发明专利]一种电化学沉积装置

权利要求书

1.一种电化学沉积装置，其特征在于，包括：

第一槽体，所述第一槽体用于进行电化学沉积，所述第一槽体内设有相对间隔设置的阳极和阴极，所述阳极和所述阴极之间的间距可调；

第二槽体，所述第二槽体与所述第一槽体相连，所述第一槽体内的溶液可流入所述第二槽体，所述第二槽体的出液口连接有过滤器，所述过滤器用于对所述溶液进行过滤；以及

喷流系统，所述喷流系统的进液端与所述过滤器连接，所述喷流系统的出液端设置在所述第一槽体内。

2.根据权利要求1所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述电化学沉积装置还包括：支架，所述支架活动连接于所述第一槽体，所述阴极连接于所述支架。

3.根据权利要求2所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述电化学沉积装置还包括：固定于所述第一槽体的驱动装置，所述驱动装置与所述支架连接，所述驱动装置用于驱动所述支架沿第一方向移动，其中，所述阴极为长条形阴极，所述第一方向与所述阴极的长度方向平行。

4.根据权利要求3所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述驱动装置包括：电机、转动盘以及连接杆；其中，

所述电机固定在所述第一槽体外，所述电机的输出端与所述转动盘连接，所述电机用于驱动所述转动盘转动；

所述连接杆的一端与所述转动盘铰接，另一端与所述支架铰接，所述转动盘的转动带动所述连接杆转动，所述连接杆的转动驱动所述支架沿所述第一方向移动。

5.根据权利要求2所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述支架上设置有调节杆，所述阴极与所述调节杆滑动连接，所述阴极在所述调节杆上的滑动可调节所述阳极和所述阴极之间的间距。

6.根据权利要求1所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述第一槽体内还设有：用于装载样品的板架，所述板架与所述阴极固定连接。

7.根据权利要求1所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述电化学沉积装置还包括：遮挡板，所述遮挡板固定于所述第一槽体内且位于所述阴极和所述阳极之间，所述遮挡板上设置有多个通孔。

8.根据权利要求1所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述喷流系统包括：喷流管路、喷流泵以及喷流管；其中，

所述喷流管路分别与所述过滤器、所述喷流管连接，用于溶液流动；

所述喷流泵与所述喷流管道连接，用于驱动所述喷流管路内的溶液流向所述喷流管；

所述喷流管设置在所述阴极和所述阳极之间。

9.根据权利要求1所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述第一槽体和所述第二槽体之间设置有隔板，所述隔板的顶部设置有溢流口，所述第一槽体内的溶液可通过所述溢流口流到所述第二槽体内。

10.根据权利要求1至9任一项所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述过滤器为过滤套，所述过滤套设置在所述第二槽体的出液口外。

11.根据权利要求1至9任一项所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述第二槽体内设置有温度计和加热装置，所述温度计用于检测所述第二槽体内的溶液温度，所述加热装置用于加热所述溶液。

12.根据权利要求1至9任一项所述的电化学沉积装置，其特征在于，所述第二槽体内还设置有酸碱度检测器，所述酸碱度检测器用于检测所述第二槽体内的溶液的酸碱度。