[发明专利]基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法

权利要求书

1.一种基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）烘干：将银粉置于温度为50-100℃的烘箱里持续烘0.5-5h；

（2）前驱体脉冲调节：将前驱体A和前驱体B脉冲调节为20-50Pa，载气流量为100-200sccm；

（3）腔体温度、压力调试：将步骤（1）中烘干后的银粉置于微纳米颗粒原子层沉积设备中，对反应腔进行加热，同时打开真空泵对腔体进行抽真空，设定腔体温度为120-150℃，腔体压力为50-100Pa，夹持器转速为30-200rpm；

（4）原子层沉积反应：待温度、压力及夹持器转速达到步骤（3）的设定数值后，进行沉积氧化物的包覆，包覆完成后通入载气进行清洗，除去银粉表面未参与反应的前驱体及反应的副产物，即可得到改性后的银粉。

2.根据权利要求1所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4）中所述原子层沉积反应过程具体如下：

（4.1）将前驱体A通入腔体，在银粉表面完成饱和化学吸附和原子层沉积第一半反应；

（4.2）通入载气将残余的前驱体A排出腔体；

（4.3）前驱体B进入反应腔在前驱体A的饱和吸附层表面继续进行前驱体B的饱和吸附和原子层沉积第二半反应；

（4.4）通入载气把多余的前驱体和反应生成的副产物排出腔体；

（4.5）重复步骤（4.1）-（4.4），直至完成银粉表面的致密氧化物层包覆。

3.根据权利要求1所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（1）中所述银粉为球形银粉，银粉表面粗糙度为30-50μm。

4.根据权利要求1所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4）所述沉积氧化物的前驱体组合中，前驱体A为去离子水、氧气或臭氧中的一种或多种，前驱体B为四氯化钛、三甲基铝或四二甲氨基锆种的一种或多种。

5.根据权利要求2所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4.1）和（4.3）中两种前驱体分别放置于对应源瓶中，通过载气将气相前驱体带入反应腔。

6.根据权利要求2所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4.1）-（4.4）中反应温度为120-150℃，通入载气之前腔体内压力不高于10Pa，所述两种前驱体反应时，脉冲时长为30-60s，惰性气体流量为100-200sccm；且每完成一种前驱体的吸附，需用惰性气体对银粉表面进行清洗，清洗时长为60-120s。

7.根据权利要求1或2所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，所述载气为惰性气体，惰性气体为高纯氮气或氩气。

8.根据权利要求2所述的基于原子层沉积的光伏正面导电银浆银粉的表面改性方法，其特征在于，步骤（4.1）-（4.4）的重复次数为1-1000次，所述氧化物层包覆薄膜的厚度为0.1-100nm，所述被包覆银粉的质量为1-200g。