[发明专利]一种抗氯离子铜面微蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种抗氯离子铜面微蚀剂，其特征在于由以下A、B液组成，其中A液组分成分：50%硫酸溶液：20-200ml/L，50%过氧化氢：20-200ml/L，自来水：余量；B液组成成分：分散剂：10-60ml/L，稳定剂：0.4-4g/L，侧蚀保护剂：100-300mg/L，50%硫酸：2-8ml/L，自来水：余量。

2.根据权利要求1 所述的一种抗氯离子铜面微蚀剂，其特征在于由以下A、B液组成，其中A液组分成分：50%硫酸溶液：80-160ml/L，50%过氧化氢：60-120ml/L，自来水：余量；B液组成成分：分散剂：20-50ml/L，稳定剂：1-3g/L，侧蚀保护剂：100-200mg/L，50%硫酸：4-7ml/L，自来水：余量。

3.根据权利要求1 所述的一种抗氯离子铜面微蚀剂，其特征是上述分散剂为：乙二醇、聚乙二醇、正丁醇、异丙醇、环戊胺、环己胺、二环己胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二乙烯三胺中的至少一种。

4.根据权利要求1 所述的一种抗氯离子铜面微蚀剂，其特征是上述的稳定剂为：柠檬酸、对羟基苯磺酸、氨基磺酸、羟基乙酸中的至少一种。

5.根据权利要求1 所述的一种抗氯离子铜面微蚀剂，其特征是上述的侧蚀保护剂为：硫脲、N-甲基硫脲、1,4-丁炔二醇、二甲基己炔二醇中的至少一种。

6.如权利要求1-5 任意一项所述的铜面微蚀剂的制备方法，其特征在于，操作步骤如下：A液：按配方量向1号反应器依次加入适量自来水、50%硫酸、50%双氧水、自来水定容并搅拌均匀；B液：按配方量向2号反应器依次加入适量自来水、分散剂、50%硫酸、稳定剂、侧蚀保护剂、自来水定容并搅拌均匀，使用时向A液中加入B液并混合均匀。