[发明专利]接合装置

说明书

提供接合装置，其具备多个处理部，该接合装置使一对金属板彼此接合。接合装置还具备保持一对金属板的保持部件。多个处理部中的一个处理部是加热加压处理部。加热加压处理部具有加热部和加压部。加热部对一对金属板和保持部件进行加热。加压部对一对金属板进行加压。加热部配置于一对金属板与加压部之间。保持部件配置于一对金属板与加热部之间。

技术领域

本发明涉及接合装置。

背景技术

以往，已知接合金属间的各种装置。例如，存在如下的基材接合装置：将溅射蚀刻的第一基材的表面与附着有由第一基材的材料构成的溅射粒子的第二基材的表面以重合的方式进行压接，由此在常温下接合第一基材与第二基材。在高真空环境下的腔室内，第一基材配置于下台部的上表面，第二基材配置于与下台部对置的上台部的下表面。(例如，参照日本特开2018-18997号公报)

专利文献1：日本特开2018-18997号公报

在这里，在腔室内的下台部和上台部直接配置基材时，如果基材的尺寸较小，则可能难以进行基材的操作。

发明内容

本发明的目的在于使一对金属板的操作变得容易。

本发明的例示的接合装置具备多个处理部，该接合装置使一对金属板彼此接合。所述接合装置还具备保持一对所述金属板的保持部件。多个所述处理部中的一个所述处理部是加热加压处理部。所述加热加压处理部具有加热部和加压部。所述加热部对一对所述金属板和所述保持部件进行加热。所述加压部对一对所述金属板进行加压。所述加热部配置于一对所述金属板与所述加压部之间。所述保持部件配置于一对所述金属板与所述加热部之间。

根据本发明的例示的接合装置，能够使一对金属板的操作变得容易。

附图说明

图1是示出接合装置的内部结构的一例的概念图。

图2是接合装置的立体图。

图3A是热传导部件的立体图。

图3B是示出热传导部件的结构例的沿A-A线的剖视图。

图3C是示出一对金属板彼此接触的接触部中的接合结构的一例的剖视图。

图4是示出加热加压处理部的结构例的概念图。

图5是示出保持部件的结构例的概念图。

图6是示出保持部件的其他结构例的概念图。

标号说明

100：接合装置；1：处理部；11：搬入处理部；12：加热加压处理部；121：加热部；122：加压部；13：前处理部；14：后处理部；15：搬出处理部；2：作业室；21：搬入口；22：搬出口；3：保持部件；31：第一保持部件；311：孔部；32：第二保持部件；321：凹部；322：贯通孔；33：安装部件；34：收纳凹部；341：第一收纳凹部；342：第二收纳凹部；5：热传导部件；51：一对金属板；51a：被加热部；51b：散热部；510：空间；511：第一金属板；512：第二金属板；513：接触部；52：工作介质；53：芯构造体；6：发热源；G：惰性气体；Cr：结晶粒。

具体实施方式

以下参照附图对例示的实施方式进行说明。

另外，在本说明书中，在热传导部件5和接合装置100中，将第一金属板511与第二金属板512对置的方向称为“上下方向”。另外，在实施方式中，上下方向与铅直方向平行。将上下方向中的从第一金属板511向第二金属板512的方向称为“上方”，将从第二金属板512向第一金属板511的方向称为“下方”。在各个结构要素中，将上方的端部称为“上端部”，将下方的端部称为“下端部”。而且，在各个结构要素的表面中，将朝向上方的面称为“上表面”，将朝向下方的面称为“下表面”。