[发明专利]接合装置

说明书

提供接合装置，其使一对金属板彼此接合。接合装置具备多个处理部。多个处理部中的一个处理部是加热加压处理部。加热加压处理部具有对一对金属板进行加热的加热部以及对一对金属板进行加压的加压部。

技术领域

本发明涉及接合装置。

背景技术

以往，已知接合金属间的各种装置。例如，存在如下的基材接合装置：将溅射蚀刻的第一基材的表面与在表面附着有由第一基材的材料构成的溅射粒子的第二基材以重合的方式进行压接，由此在常温下接合第一基材与第二基材。基材接合装置向高真空环境下的腔室提供氩气等气体，从而在该腔室内同时进行第一基材的溅射蚀刻和溅射粒子向第二基材的附着。而且，基材接合装置在停止了气体的提供之后，接合第一基材和第二基材。(例如，参照日本特开2018-18997号公报)

专利文献1：日本特开2018-18997号公报

然而，上述接合需要在高真空环境下的腔室内实施。因此，需要用于调整接合环境的专用的装置和基材，从而处理所需的时间也可能变长。因此，无法容易并且迅速地实施金属的接合，从而接合处理所需的成本也可能变高。

发明内容

本发明的目的在于容易地接合一对金属板。

本发明的例示的接合装置将一对金属板彼此接合。接合装置具备多个处理部。多个所述处理部中的一个所述处理部是加热加压处理部。所述加热加压处理部具有对一对所述金属板进行加热的加热部和对一对所述金属板进行加压的加压部。

根据本发明的例示的接合装置，能够容易地接合一对金属板。

附图说明

图1是示出接合装置的内部结构的一例的概念图。

图2是接合装置的立体图。

图3A是热传导部件的立体图。

图3B是示出热传导部件的结构例的沿A-A线的剖视图。

图3C是示出一对金属板彼此接触的接触部中的接合结构的一例的剖视图。

图4是示出加热加压处理部的结构例的概念图。

图5是示出加热加压处理部的其他结构例的概念图。

图6是第一加热部的俯视图。

标号说明

100：接合装置；110：处理部；111：搬运处理部；112：加热加压处理部；113：前处理部；114：后处理部；5：热传导部件；6：发热源；51：一对金属板；51a：被加热部；51b：散热部；510：空间；511：第一金属板；512：第二金属板；513：接触部；52：工作介质；53：芯构造体；1：加热部；11：第一加热部；12：第二加热部；2：加压部；20：固定部；21：第一加压部；22：第二加压部；120：搬运机构；130：作业室；131：搬运口；G：惰性气体；Cr：结晶粒。

具体实施方式

以下参照附图对例示的实施方式进行说明。

另外，在本说明书中，在热传导部件5和接合装置100中，将第一金属板511与第二金属板512对置的方向称为“上下方向”。将上下方向中的从第一金属板511向第二金属板512的方向称为“上方”，将从第二金属板512向第一金属板511的方向称为“下方”。在各个结构要素中，将上方的端部称为“上端部”，将下方的端部称为“下端部”。而且，在各个结构要素的表面中，将朝向上方的面称为“上表面”，将朝向下方的面称为“下表面”。

以上说明的事项并不严格应用于组装到实际的设备中的情况。

＜1.实施方式＞

＜1-1.接合装置＞