[发明专利]一种管状靶材焊接的温度控制装置及其应用有效
| 申请号： | 202010237379.3 | 申请日： | 2020-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN111299923B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;周伟君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/00 | 分类号： | B23K37/00 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 管状 焊接 温度 控制 装置 及其 应用 | ||
1.一种管状靶材焊接后冷却方法，其特征在于，所述冷却方法在管状靶材焊接的温度控制装置中进行，所述装置在管状靶材外部设置有分段式温控系统，内部设置有内加热装置；所述分段式温控系统包括分段式环形温控套；所述管状靶材焊接的温度控制装置还包括与分段式温控系统以及内加热装置相连的温度控制系统；所述温度控制系统包括可编程逻辑温控系统；
所述冷却方法包括如下步骤：
(1)在焊接后，先将自管状靶材一端起的第一段降温至第一温度；
(2)将自所述管状靶材一端起的第二段降温至第一温度，并持续对第一段降温至第二温度；
(3)以此类推，至自所述管状靶材一端起的最后一段降温至第二温度；
所述第一温度为185～195℃；
所述第二温度为95～105℃；
所述降温至第一温度的降温速率为0.7～0.9℃/min；
所述降温的装置包括分段式温控系统；
步骤(2)中持续对第一段降温至第二温度后，进行保温、关闭第一段温控系统或持续降温；
所述降温至第二温度的降温速率为0.7～0.9℃/min；
在步骤(3)之后，还包括：去除分段式温控系统，进行空冷；
所述管状靶材的靶材主体为陶瓷靶材。
2.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述分段式温控系统分为2～8段。
3.根据权利要求2所述的冷却方法，其特征在于，所述分段式温控系统分为4～5段。
4.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述内加热装置包括加热棒。
5.根据权利要求4所述的冷却方法，其特征在于，所述加热棒为一体式加热棒。
6.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述环形温控套外部设置有导热绝缘层。
7.根据权利要求4所述的冷却方法，其特征在于，所述加热棒外部设置有导热绝缘层。
8.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述管状靶材焊接的温度控制装置还包括用于竖直放置管状靶材的底座。
9.根据权利要求8所述的冷却方法，其特征在于，所述底座上设置有两个环形凹圈。
10.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述降温至第一温度的降温速率为0.75～0.85℃/min。
11.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述管状靶材一端为管状靶材的下端。
12.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述管状靶材的背管包括不锈钢管。
13.根据权利要求1所述的冷却方法，其特征在于，所述降温至第二温度的降温速率为0.75～0.85℃/min。
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