[发明专利]无缺陷高纯镍钒靶坯的制备方法及利用其制备得到的靶材

权利要求书

1.无缺陷高纯镍钒靶坯的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)将高纯镍钒铸锭进行热等静压处理，然后进行锻造，得到锻造铸锭；

(2)将步骤(1)得到的锻造铸锭依次进行第一退火、轧制-回炉加热及第二退火，得到无缺陷高纯镍钒靶坯。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述高纯镍钒铸锭包括电弧重熔和/或真空感应熔炼所获得铸锭；

优选地，所述电弧重熔包括采用电子束或真空重熔；

优选地，步骤(1)所述高纯镍钒铸锭中镍钒的含量为99.95-99.99％；

优选地，步骤(1)所述高纯镍钒铸锭中V的含量为6.5-7.5％。

3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述热等静压处理的温度为850-1100℃；

优选地，步骤(1)所述热等静压处理的压力≥110MPa；

优选地，步骤(1)所述热等静压处理的时间为4-6h。

4.如权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，步骤(1)所述锻造的温度为900-1100℃；

优选地，步骤(1)所述锻造中的总变形率为70-80％。

5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述第一退火结束后立即进行轧制；

优选地，步骤(2)所述第一退火的温度为1000-1200℃；

优选地，步骤(2)所述第一退火的保温时间为60-120min。

6.如权利要求1-5任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述轧制的道次为3-5次；

优选地，所述轧制中每道次下压量为该次轧制前厚度的5-10％；

优选地，步骤(2)所述轧制中的总变形量为70-80％；

优选地，步骤(2)所述轧制-回炉加热循环进行直至轧至目标直径和目标厚度。

7.如权利要求1-6任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述回炉加热的时间为40-80min；

优选地，步骤(2)所述回炉加热的终点温度为1000-1200℃。

8.如权利要求1-7任一项所述的方法，其特征在于，步骤(2)所述第二退火的温度为450-550℃；

优选地，步骤(2)所述第二退火的保温时间为90-150min；

优选地，步骤(2)所得靶坯中晶粒大小≤100μm，优选为40-60μm。

9.如权利要求1-8任一项所述的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

(1)将高纯镍钒铸锭进行热等静压处理，然后进行锻造，得到锻造铸锭；其中，所述高纯镍钒铸锭包括电弧重熔和/或真空感应熔炼所获得铸锭；所述电弧重熔包括采用电子束或真空重熔；所述高纯镍钒铸锭中镍钒的含量为99.95-99.99％；所述高纯镍钒铸锭中V的含量为6.5-7.5％；所述热等静压处理的温度为850-1100℃；所述热等静压处理的压力≥110MPa；所述热等静压处理的时间为4-6h；所述锻造的温度为900-1100℃；所述锻造中的总变形率为70-80％；

(2)将步骤(1)得到的锻造铸锭依次进行第一退火、轧制-回炉加热及第二退火，得到无缺陷高纯镍钒靶坯；其中，所述第一退火结束后立即进行轧制；所述第一退火的温度为1000-1200℃；所述第一退火的保温时间为60-120min；所述轧制的道次为3-5次；所述轧制中每道次下压量为该次轧制前厚度的5-10％；所述轧制中的总变形量为70-80％；所述轧制-回炉加热循环进行直至轧至目标直径和目标厚度；所述回炉加热的时间为40-80min；所述回炉加热的终点温度为1000-1200℃；所述第二退火的温度为450-550℃；所述第二退火的保温时间为90-150min；所得靶坯中晶粒大小≤100μm。

10.一种靶材，其特征在于，所述靶材为将权利要求1-9任一项所述的方法制备得到的靶坯和背板进行焊接而得到；

优选地，所述背板包括铝合金背板和/或铜合金背板。