[发明专利]气体放电光源中的气体优化

权利要求书

1.一种调节光源的一个或多个操作特性的方法，所述光源包括第一级和第二级，所述第一级具有第一气体放电室，所述第一气体放电室填充有第一气体混合物并且包括第一脉冲能量源，所述第二级具有第二气体放电室，所述第二气体放电室填充有第二气体混合物并且包括第二脉冲能量源，所述方法包括：

对所述第一气体放电室执行重新填充过程，包括替换所述第一气体放电室中的所述第一气体混合物，以及对所述第二气体放电室执行重新填充过程，包括替换所述第二气体放电室中的所述第二气体混合物；

在完成所述重新填充过程之后，对所述第一气体放电室执行第一气体调节过程，所述第一气体调节过程包括：在使用所述第一脉冲能量源向所述第一气体放电室供应能量的同时，调节所述第一气体放电室的一个或多个操作特性，直到脉冲放大光束从所述第一级被输出并且朝向所述第二级被引导为止，所述调节基于所述第一气体放电室的操作参数的测量值；以及

在确定所述第一气体放电室的操作特性不应当再被调节、并且由此完成对所述第一气体放电室的所述第一气体调节过程之后，对所述第二气体放电室应用基于界限的气体调节过程，所述基于界限的气体调节过程包括：

在一组极端测试条件下操作所述光源的同时估计与所述第二气体放电室相关联的操作参数的极值，

基于所述操作参数的估计的极值，确定是否调节所述第二气体放电室的一个或多个操作特性，以及

如果确定所述第二气体放电室的操作特性应当被调节，则调节所述第二气体放电室的所述操作特性。

2.根据权利要求1所述的方法，其中调节所述第一气体放电室的操作特性包括：调节所述第一气体放电室中的所述第一气体混合物的条件。

3.根据权利要求1所述的方法，其中使用所述第一脉冲能量源向所述第一气体放电室供应能量包括：供应向所述第一气体混合物提供能量的脉冲放电。

4.根据权利要求1所述的方法，其中调节所述第一气体放电室的所述操作特性包括：调节所述第一气体放电室中的所述第一气体混合物的压力。

5.根据权利要求1所述的方法，其中在从第一脉冲能量源输出的所述脉冲放大光束的脉冲与从第二脉冲能量源输出的放大光束的脉冲之间的定时保持恒定的同时，发生调节所述第一气体放电室的所述操作特性。

6.根据权利要求1所述的方法，其中调节所述第一气体放电室的所述操作特性包括：在被供应给所述第一气体放电室的能量保持恒定的同时，调节所述第一气体放电室的所述操作特性。

7.一种调节光源的一个或多个操作特性的方法，所述光源包括第一级和第二级，所述第一级具有第一气体放电室，所述第一气体放电室填充有第一气体混合物并且包括第一脉冲能量源，所述第二级具有第二气体放电室，所述第二气体放电室填充有在所述第二气体放电室中的第二气体混合物，所述方法包括：

对所述第一气体放电室执行重新填充过程，包括替换所述第一气体放电室中的所述第一气体混合物，以及对所述第二气体放电室执行重新填充过程，包括替换所述第二气体放电室中的所述第二气体混合物；

在完成所述重新填充过程之后，对所述第一气体放电室执行第一气体调节过程，所述第一气体调节过程包括：在使用所述第一脉冲能量源向所述第一气体放电室供应能量的同时，调节所述第一气体放电室的一个或多个操作特性，直到脉冲放大光束从所述第一级被输出并且朝向所述第二级被引导为止，对所述一个或多个操作特性的所述调节基于所述第一气体放电室的操作参数的测量值；以及

在确定所述第一气体放电室的操作特性不应当再被调节，并且由此完成对所述第一气体放电室的所述第一气体调节过程之后，对所述第二气体放电室应用基于界限的气体调节过程，所述基于界限的气体调节过程包括：

确定是否调节所述第二气体放电室的至少一个操作特性；以及

如果确定所述第二气体放电室的操作特性应当被调节，则调节所述操作特性；

其中在一组极端测试条件下操作所述光源的同时，基于与所述第二气体放电室相关联的操作参数的一个或多个估计的极值，来确定是否调节所述第二气体放电室的至少一个操作特性。