[发明专利]掩膜外框和掩膜组件有效
申请号: | 202010238341.8 | 申请日: | 2020-03-30 |
公开(公告)号: | CN111254388B | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 赵坤;古春笑;杨硕;丁敏 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 掩膜外框 组件 | ||
本发明公开了一种掩膜外框和掩膜组件。掩膜外框,包括主框体和至少两个热膨胀部;主框体围合形成蒸镀区域;至少两个热膨胀部,设置于主框体上且将主框体至少划分为第一框体和第二框体,热膨胀部的热膨胀系数大于主框体的热膨胀系数,用于在受热膨胀时使第一框体相对于第二框体向远离第二框体的方向移动。本发明实施例的技术方案,减少了高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量,降低了掩膜部的像素位置精度的偏差,提升OLED的蒸镀精度及显示效果。另外,本实施例的技术方案无需对掩膜部进行加工改进,掩膜外框能够适用于多种掩膜部,在改善掩膜部下垂现象的同时,降低了蒸镀工艺的制造成本,提升了掩膜组件使用的便利性。
技术领域
本发明实施例涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩膜外框和掩膜组件。
背景技术
在有机电致发光器件(Organic Light-Emitting Diode,OLED)制造技术中,用于真空蒸镀的掩膜板是至关重要的部件,掩膜板可以控制有机材料沉积在OLED基板上的位置。
在张网过程中,掩膜板受自身重力影响会发生下垂,在蒸镀过程中,掩膜板受热会发生热膨胀,掩膜板的下垂会进一步加剧,影响了掩膜板自身的像素位置精度(PixelPosition Accuracy,PPA),从而导致蒸镀后OLED基板上的像素位置发生偏移,对OLED的蒸镀精度及显示效果造成不良影响。
发明内容
本发明提供一种掩膜外框和掩膜组件,以实现减少高温蒸镀过程中掩膜部的下垂量,降低掩膜部的像素位置精度的偏差,提升OLED的蒸镀精度及显示效果。
第一方面,本发明实施例提供了一种掩膜外框,包括:
主框体,围合形成蒸镀区域;
至少两个热膨胀部,设置于所述主框体上且将所述主框体至少划分为第一框体和第二框体,所述热膨胀部的热膨胀系数大于所述主框体的热膨胀系数,用于在受热膨胀时使所述第一框体相对于所述第二框体向远离所述第二框体的方向移动。
进一步地,所述主框体具有间断区,所述热膨胀部置于所述间断区中;
或者,所述主框体的部分区域具有贯穿所述主框体的内侧与外侧的凹槽,所述热膨胀部置于所述凹槽中,且所述凹槽的底部设有缝隙,其中,所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧,所述主框体的外侧与所述主框体的内侧相对。
进一步地,所述热膨胀部由热膨胀材料构成;或者所述热膨胀部由所述主框体的部分区域掺杂热膨胀材料形成;
优选地,所述热膨胀材料包括铜、铁和铝中的至少一种。
进一步地,所述主框体包括依次连接的第一侧边框、第二侧边框、第三侧边框和第四侧边框,所述第一侧边框和所述第三侧边框相对设置;
所述热膨胀部设置于所述第一侧边框和所述第三侧边框上;
优选地,所述第一侧边框和/或所述第三侧边框上设置有至少两个相间隔的所述热膨胀部。
可选地,还包括:
至少一个热收缩部,设置于所述主框体的内侧,用于固定掩膜单元,所述热收缩部能够受热收缩,其中,所述主框体的内侧为所述主框体靠近所述蒸镀区域的一侧。
进一步地,所述热收缩部包括热缩材料;
优选地,所述热缩材料包括镍酸铋和镍酸铅中的至少一种。
进一步地,所述主框体包括与所述掩膜单元的固定位置对应的至少一个张网子区域,每个所述张网子区域设置有一个所述热收缩部;
优选地,在由所述主框体的外侧指向所述主框体的内侧的方向上,所述热收缩部的厚度从其中间向两端逐渐减小。
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