[发明专利]仿生荷叶珠效果的绿色镀膜及其表面处理方法

权利要求书

1.仿生荷叶珠效果的绿色镀膜，其特征在于：从内向外依次包括有机涂层、交叠镀膜合金层和疏水面漆层。

2.根据权利要求1所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜，其特征在于：所述有机涂层的材质为UV漆，所述交叠镀膜合金层由铜膜和铜铬合金膜交替复合而成，所述疏水面漆层的材质为高羟基丙烯酸聚氨酯。

3.根据权利要求1或2所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1)、将工件直接喷涂UV漆，经流平、烘干和固化；

步骤2)、然后置于真空炉内等离子辉光处理，接着进行真空交叠镀膜处理；

步骤3)、在交叠镀膜的表面，进行真空等离子辉光微刻蚀处理工艺；

步骤4)、微刻蚀工件先浸渍后蒸发改性硅试剂，即得到具有超疏水的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜。

4.根据权利要求3所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述步骤1)中，工件喷涂UV漆后，流平1-2min，40-60℃下烘干3-5min，在800-1200mJ/cm2下固化20-50s。

5.根据权利要求3所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述等离子辉光处理工艺条件为：离子源电流0.4-0.7A，偏压40-100V，占空比50-90％，氩气流量20-120SCCM，时间5-10min。

6.根据权利要求3所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述真空交叠镀膜工艺为：采用铜靶和电弧铜铬合金靶交替镀膜。

7.根据权利要求6所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述交替镀膜的一个周期中，先采用铜靶，在工件表面溅射铜膜，当溅射铜时间进行到大于四分之三后，减小铜靶电流，同时启动电弧铜铬合金靶，铜铬靶电流逐步增加到一定大小后，关闭铜靶电流，并继续加大铜铬靶电流。

8.根据权利要求6所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述步骤2)中，所述真空交叠镀膜工艺为：(a)先采用铜靶，在工件表面溅射铜膜，靶的功率为6-15A，氩气流量为80-200SCCM，此层溅射时间2min；(b)当步骤a中溅射铜时间进行到1min30s时，原铜靶电流不马上关闭，减小到2A，同时启动电弧铜铬合金靶，铜铬靶电流逐步增加，当电流大于2A时，关闭铜靶电流，逐步增加铬铜靶电流到30A，通入氩气60-120SCCM，此层溅射时间为3min，如此周期交替进行，总镀膜时间为13.5-18min。

9.根据权利要求3所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：所述步骤3)中，真空等离子辉光微刻蚀处理工艺条件为离子源电流0.4-0.7A，偏压60-100V，占空比50-90％，氧气流量80-200SCCM，时间1-5min。

10.根据权利要求3所述的仿生荷叶珠效果的绿色镀膜表面处理方法，其特征在于：步骤4)中改性硅试剂为氨基聚甲基硅氧烷。