[发明专利]碳化硅陶瓷吸盘及其制备方法

权利要求书

1.一种碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，包括：吸盘本体和与所述吸盘本体连接的吸盘底座，所述吸盘底座具有气体通道和抽气接口，所述吸盘本体的材质为多孔碳化硅陶瓷，所述吸盘底座的材质为致密碳化硅陶瓷；所述吸盘本体与所述吸盘底座通过有机粘结剂或者高温无机粘结剂粘结在一起。

2.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的多孔碳化硅陶瓷采用凝胶注模成型法、模压法、挤出法或注浆法制备得到。

3.根据权利要求2所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述凝胶注模成型法的原料为固相含量为30-50％的多孔碳化硅陶瓷料浆。

4.根据权利要求3所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的多孔碳化硅陶瓷料浆由以下重量份的组分组成：碳化硅粉：60-80份；炭黑粉：5-15份；粘结剂：3-6份；和水：10-25份。

5.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的致密碳化硅陶瓷采用凝胶注模成型法、模压法、等静压法或注浆法制备得到。

6.根据权利要求5所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，

所述凝胶注模成型法的原料为固相含量为60-70％的致密碳化硅陶瓷料浆。

7.根据权利要求6所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的致密碳化硅陶瓷料浆由以下重量份的组分组成：碳化硅粉：30-60份；烧失剂：5-30份；粘结剂：1-10份；和水：30-60份。

8.根据权利要求4或7所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的粘结剂为氧化铝粉、石英粉和碳化硼粉中的一种或多种。

9.根据权利要求7所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，所述的烧失剂为碳粉、石墨粉、木炭粉、淀粉和葡萄糖中的一种或多种。

10.根据权利要求1所述的碳化硅陶瓷吸盘，其特征在于，

所述的有机粘结剂为环氧树脂、酚醛树脂或丙烯酸树脂；

所述的高温无机粘结剂为聚碳硅烷、聚硅氧烷或全氢聚硅氮烷。

11.一种碳化硅陶瓷吸盘的制备方法，其特征在于，包括：

陶瓷底座的制备：将碳化硅粉、炭黑粉、粘接剂和水混合，得到致密碳化硅陶瓷浆料；将所述的致密碳化硅陶瓷浆料制成陶瓷底座素坯；对所述的陶瓷底座素坯进行烧结、精密加工，得到致密碳化硅陶瓷底座；其中，所述碳化硅粉、炭黑粉、粘结剂和水的重量比为：60-80：5-15：3-6：10-25；

陶瓷吸盘本体的制备：将碳化硅粉、烧失剂、粘接剂和水混合，得到多孔碳化硅陶瓷浆料；将所述的多孔碳化硅陶瓷浆料制成陶瓷吸盘本体素坯；对所述的陶瓷吸盘本体素坯进行烧结、精密加工，得到多孔碳化硅陶瓷吸盘本体；其中，所述碳化硅粉、烧失剂、粘结剂和水的重量比为：30-60：5-30：1-10：30-60；

陶瓷吸盘的制备：将所述致密碳化硅陶瓷底座与所述多孔碳化硅陶瓷吸盘本体进行粘接，经后处理，得到碳化硅陶瓷吸盘。

12.根据权利要求11所述的多孔碳化硅陶瓷吸盘的制备方法，其特征在于，所述的粘结剂为氧化铝粉、石英粉和碳化硼粉中的一种或多种；

所述的烧失剂为碳粉、石墨粉、木炭粉、淀粉和葡萄糖中的一种或多种；

所述的有机粘结剂为环氧树脂、酚醛树脂或丙烯酸树脂；

所述的高温无机粘结剂为聚碳硅烷、聚硅氧烷或全氢聚硅氮烷。