[发明专利]一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种镍铂合金溅射靶材，所述靶材以4N5镍和铂为原料，其成分为25~29at.%Pt，余量为镍和不可避免的其它杂质元素；其特征在于镍铂溅射靶材溅射面的（111）晶 面的取向率为40.5～42.3%，（111）晶面的取向率为（111）晶面的X射线衍射峰取向率用式(Ⅰ)表示：

..............................式（Ⅰ）

（200）晶 面的取向率为21.6~30.7%，（200）晶面的取向率为（200）晶面的X射线衍射峰取向率用式(Ⅱ)表示：

..............................式（Ⅱ）

所述镍铂合金溅射靶材的制备方法，包括原料准备、浇铸成型、温轧轧制、再结晶退火、和加工成型，具体包括以下步骤：

（1）原料准备：以4N5镍和铂为原料，配制成铂的含量为25~29at.%的合金；

（2）浇铸成型：将合金放入熔炼炉中进行熔炼，待合金熔化后置于浇铸模具中进行浇铸获得镍铂合金铸锭，浇铸模具的温度为400～500℃，浇铸过程中，对浇铸模具施加周期振动，振动振幅在1～2.5mm，浇铸时的温度为1650～1750℃，浇铸速率为7.1～8cm³/s；

（3）温轧轧制：对镍铂合金铸锭于300~350℃下温轧轧制，温轧的道次变形量为3%～15%，总变形量为50%～90%，进行单道次或多次轧制后进行回炉加热，再进行多道次轧制形成坯料；所述的温轧轧制的方向为单向或纵横交替；

（4）再结晶退火：将轧制后的坯料进行再结晶退火处理，退火次数1~2次，退火处理温度为800～1100℃，时间为1～3小时；

（5）加工成型：将再结晶退火处理后的坯料加工成型制得靶材。