[发明专利]一种兰姆波谐振器及其制备方法

权利要求书

1.一种兰姆波谐振器，其特征在于，包括：支撑衬底(1)、反射层(2)、第一压电膜(3)、第二压电膜(4)和电极层(5)；

所述支撑衬底(1)、所述反射层(2)、所述第一压电膜(3)、所述第二压电膜(4)和所述电极层(5)依次层叠连接；

所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)配合能够消除或减小激发高阶兰姆波不需要的压电系数。

2.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于：所述兰姆波谐振器利用高阶A波或S波；

所述兰姆波谐振器能够有效抑制0阶SH波、0阶S波或0阶A波中至少一种的激发。

3.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述反射层(2)为空气反射层(2)，所述空气反射层(2)通过对牺牲层进行局部刻蚀形成；

所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)均开设有刻蚀孔；

或；

所述反射层(2)为布拉格反射层(2)。

4.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)的厚度总和与所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)所激发的弹性波波长的比值小于1。

5.根据权利要求1所述的兰姆波谐振器，其特征在于，所述第一压电膜(3)的材料包括铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、石英或氮化铝；

所述第二压电膜(4)的材料包括铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、石英或氮化铝。

6.一种兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

获取支撑衬底(1)；

在所述支撑衬底(1)上制备形成器件结构层；

所述器件结构包括：反射层(2)、第一压电膜(3)、第二压电膜(4)和电极层(5)，所述反射层(2)、所述第一压电膜(3)、所述第二压电膜(4)和所述电极层(5)依次层叠连接；

所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)配合能够消除或减小激发高阶兰姆波不需要的压电系数。

7.根据权利要求6所述的兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，所述在所述支撑衬底(1)上制备形成器件结构层，包括：

在所述支撑衬底(1)上制备牺牲层；

在所述牺牲层上制备形成所述第一压电膜(3)；

在所述第一压电膜(3)上制备形成所述第二压电膜(4)；

在所述第二压电膜(4)上制备形成所述电极层(5)；

对所述第一压电膜和所述第二压电膜(4)进行刻蚀开孔处理；

对所述牺牲层进行局部刻蚀处理制备形成所述反射层(2)。

8.根据权利要求6所述的兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，所述在所述支撑衬底(1)上制备形成器件结构层，包括：

在所述支撑衬底(1)上制备布拉格反射层(2)形成所述反射层(2)；

在所述布拉格反射层(2)上制备形成所述第一压电膜(3)；

在所述第一压电膜(3)上制备形成所述第二压电膜(4)；

在所述第二压电膜(4)上制备形成所述电极层(5)。

9.根据权利要求6所述的兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)的厚度总和与所述第一压电膜(3)和所述第二压电膜(4)所激发的弹性波波长的比值小于1。

10.根据权利要求6所述的兰姆波谐振器的制备方法，其特征在于，所述第一压电膜(3)的材料包括铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、石英或氮化铝；

所述第二压电膜(4)的材料包括铌酸锂、钽酸锂、氧化锌、石英或氮化铝。