[发明专利]一种利用直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法

权利要求书

1.一种利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

1）配制电镀液：在电镀槽中加入水，再依次加入硫酸铜、氯离子和硫酸，然后加入四氢噻唑硫酮、聚乙二醇、聚二疏二丙烷磺酸钠、乙撑疏脲和巯基苯骈咪唑，搅拌；

所述硫酸铜、硫酸、氯离子、四氢噻唑硫酮、聚乙二醇、聚二疏二丙烷磺酸钠、乙撑疏脲和巯基苯骈咪唑的加入量按质量比为（1×10⁶～1.5×10⁶）∶（3×10⁵～3.5×10⁵）∶（300～450）∶（15～20）∶（1800～2000）∶（100～150）∶（4～8）∶（4～8）；

所述硫酸铜的质量-体积浓度为 200～250g/L，硫酸的质量-体积浓度为 60～70g/L，氯离子的质量-体积浓度为 60mg/L～70g/L，四氢噻唑硫酮的质量-体积浓度为 3mg/L～4g/L，聚乙二醇的质量-体积浓度为 380mg/L～430g/L，聚二疏二丙烷磺酸钠的质量-体积浓度为 20mg/L～25g/L，乙撑疏脲的质量-体积浓度为 0.8mg/L～1g/L，巯基苯骈咪唑的质量-体积浓度为 0.8mg/L～1g/L；

2）将1%磷铜放入阳极篮中并接入正极，将镍制原模接入负极，超声振动直接加在阴极上，调节超声功率为400W，频率为40kHz，调整电流密度为3A/dm²，进行电镀6h，经阴极脱模后得高硬度电镀铜。

2.如权利要求1所述利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于所述在步骤1）中，所述水的温度为40～45℃。

3.如权利要求1所述利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于所述在步骤1）中，所得电镀液在40～45℃条件下保温8～15h。

4.如权利要求3所述利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于所得电镀液在42℃条件下保温12h。

5.如权利要求1所述利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于在步骤2）中，电镀铜完成取出后，静止8～10h后测试显微硬度。

6.如权利要求5所述利用阴极直接超声振动增加电镀铜硬度的制备方法，其特征在于电镀铜完成取出后，静止10h后测试显微硬度。