[发明专利]微透镜阵列、生物识别模组及其电子设备

权利要求书

1.一种微透镜阵列，其特征在于，包括：

透明基底，所述透明基底包括第一表面和所述第一表面相对的第二表面；

微透镜组件，所述微透镜组件包括多个呈阵列排列于所述第一表面上的微透镜，所述微透镜具有两相对设置的第三表面和第四表面，以及连接所述第三表面和第四表面的侧面，所述第三表面承靠于所述第一表面；以及

吸光组件，所述吸光组件包括第一吸光层，所述第一吸光层设于每个微透镜的侧面。

2.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其特征在于，相邻所述微透镜的所述第一吸光层贴合设置。

3.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一吸光层的厚度为800nm～3μm。

4.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一吸光层的材质为Ti、Cr、Si、SiC或SiO₂。

5.根据权利要求1所述的微透镜阵列，其特征在于，所述吸光组件还包括第二吸光层，所述第二吸光层设于所述第二表面，所述第二吸光层设有多个第一通孔。

6.根据权利要求5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第二吸光层的个数为多个，且与所述微透镜一一对应设置。

7.根据权利要求5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一通孔的孔径为0.5μm～5μm。

8.根据权利要求5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第二吸光层的厚度为800nm～3μm。

9.根据权利要求5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第二吸光层的材质为Ti、Cr、Si、SiC或SiO₂。

10.根据权利要求1或5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述吸光组件还包括第三吸光层，所述第三吸光层设置于第三表面和第一表面之间，所述第三吸光层设有多个第二通孔。

11.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第三吸光层的个数为多个，且与所述微透镜一一对应设置。

12.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第二通孔的孔径为5μm～10μm。

13.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第三吸光层的厚度为800nm～3μm。

14.根据权利要求10所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第三吸光层的材质为Ti、Cr、Si、SiC或SiO₂。

15.根据权利要求1或5所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一表面开设有多个第一环形槽，所述第一环形槽与微透镜一一对应设置；所述微透镜的中心轴与对应的所述环形槽的中心轴重合；所述第一环形槽所围合形成的内环在所述微透镜的第三表面上的投影完全落在所述第三表面上，且与所述第三表面的边缘有间隔；所述吸光组件还包括第四吸光层，所述第四吸光层形状与所述第一环形槽形状相匹配，且设置于所述第一环形槽内部。

16.根据权利要求15所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第一环形槽的深度为5μm～50μm。

17.根据权利要求1或10所述的微透镜阵列，其特征在于，所述第二表面开设有第二环形槽，所述第二环形槽与微透镜一一对应设置；所述微透镜的中心轴与对应的所述环形槽的中心轴重合；所述第二环形槽所围合形成的内环在所述微透镜的第三表面上的投影完全落在所述第三表面上，且与所述第三表面的边缘有间隔；所述吸光组件还包括第五吸光层，所述第五吸光层形状与所述第二环形槽形状相匹配，且设置于所述第二环形槽内部。