[发明专利]一种加速度传感器本底噪声的测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种加速度传感器本底噪声的测试装置，其特征在于，包括隔振装置和减振系统，

其中，所述隔振装置包括静音室和隔振台，所述隔振台包括气浮隔振台和多级弹性隔振台，

所述气浮隔振台包括气浮台面和至少一个一级支腿，所述一级支腿设置于所述静音室的地板和所述气浮台面之间，

所述多级弹性隔振台包括多个支撑台和弹性支腿，所述弹性支腿设置于所述支撑台之间，其中，最底层的弹性隔振台的弹性支腿处于气浮隔振台和最底层的支撑台之间，

所述静音室内具有容置空间，

所述静音室底部不直接与实验场地的底板接触，而是与实验场地的地面有一定空隙，

所述静音室底部还设计了蜂窝式的隔振结构，所述蜂窝式的隔振结构表面冲压多个凹槽，

所述气浮隔振台设置于所述静音室的地板上，所述多级弹性隔振台串联后设置于所述气浮隔振台的上方，

被测试加速度传感器设置于所述处于所述多级弹性隔振台最上方的承载隔振台的台面上，

所述减振系统包括，标准传感器组、信号检测调理单元、采集单元、控制单元、驱动器和噪声处理单元，

所述标准传感器组包括测量所述隔振台加速度变化的传感器、用于测量所述隔振台的角速度变化的传感器和位移传感器，所述标准传感器组均安装在第三级隔振台的台面上，

所述测量角速度变化的传感器采用高精度的固态陀螺仪，

所述加速度传感器本底噪声的测试装置还包括水平仪。

2.根据权利要求1所述的加速度传感器本底噪声的测试装置，其特征在于，设置有充气泵为气浮隔振台充气。

3.根据权利要求1所述的加速度传感器本底噪声的测试装置，其特征在于，所述静音室的主体结构为防震框架型，尺寸参数为：宽度为1-2米，深度为2-4米，高度为1-3米。

4.根据权利要求1所述的加速度传感器本底噪声的测试装置，其特征在于所述驱动器可根据标准传感器组检测到的数据，调整所述隔振台进行反向运动，从而进一步衰减隔振台的振动。

5.一种基于权利要求1所述的加速度传感器本底噪声的测试装置的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，安装被测试加速度传感器；

第二步，根据被测加速度传感器的质量调整隔振台参数；

第三步，启动减振系统；

第四步，测试被测试加速度传感器的本底噪声。