[发明专利]战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备

说明书

本发明公开了一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，真空计能测量由真空泵抽真空的真空腔体内的真空度并传信于控制系统，充气系统能给真空腔体内充不同气体，工件内侧面能拆拆卸的安装于真空腔体内的工件定位装置上，真空腔体内的离子轰击板能对工件外侧表面进行等离子清洗，真空腔体内的磁控阴极恰能包覆于工件外侧表面外部并与工件外侧表面保持设定距离，磁控阴极能在工件表面溅射沉膜，冷却系统能给磁控阴极和真空泵进行冷却，控制系统控制真空泵、磁控阴极、离子轰击板、充气系统和冷却系统运行，本发明全自动化控制，对战斗机驾驶舱玻璃罩表面沉积透明导电膜层效率高，膜层厚度均匀性好，膜层与玻璃罩结合牢固度高。

技术领域

本发明涉及一种磁控溅射沉膜设备，特别涉及一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备。

背景技术

战斗机驾驶舱上都安装有玻璃罩，战斗机驾驶舱玻璃罩为多曲面的有机或无机玻璃罩，战斗机在执行任务过程中如果敌机或地面电子战部队发出强电磁波，可以使飞机上的水平仪等各电子系统瘫痪，甚至有可能会因电子系统瘫痪导致战斗机上线路短路，给战斗机飞行安全造成威胁；

战斗机在高空飞行时，由于冷热温差的原因，战斗机驾驶舱玻璃罩表面很容易形成汽雾影响驾驶员视线，进而产生飞行安全隐患。

发明内容

为了克服上述缺陷，本发明提供了一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，该战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备能够在战斗机驾驶舱玻璃罩表面沉积一种透明导电膜层，使得战斗机驾驶舱玻璃罩具有防电磁干扰和防汽雾的效果。

本发明为了解决其技术问题所采用的技术方案是：一种战斗机驾驶舱玻璃罩表面物理气相沉积设备，包括真空腔体、真空泵、磁控阴极、离子轰击板、工件定位装置、充气系统、冷却系统和控制系统，所述真空泵能够给真空腔体抽真空，真空腔体内的真空计能够测量真空腔体内的真空度并传信于控制系统，充气系统能够选择的给真空腔体内充不同种类的气体，工件定位装置能够固定定位于真空腔体内，工件内侧面能够拆拆卸的安装于工件定位装置上，离子轰击板固定安装于真空腔体内，离子轰击板能够对工件外侧表面进行等离子清洗，磁控阴极安装于真空腔体内，磁控阴极恰能够包覆于工件外侧表面外部并与工件外侧表面保持设定距离，磁控阴极能够在工件表面溅射沉膜，冷却系统能够给磁控阴极和真空泵进行冷却，控制系统控制真空泵、磁控阴极、离子轰击板、充气系统和冷却系统运行。

作为本发明的进一步改进，所述磁控阴极包括第一磁控阴极靶、第二磁控阴极靶、阴极座、转角驱动装置和进给驱动装置，所述阴极座能够沿工件长度方向运动的安装于真空腔内，进给驱动装置驱动阴极座运动，第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶分别铰接设于阴极座上，转角驱动装置驱动第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶同步相向或反向转动，第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶之间能够形成与工件任意截面处外形匹配的V形空间，工件恰能够穿过该V形空间内部，控制系统控制进给驱动装置和转角驱动装置运行。

作为本发明的进一步改进，所述第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶分别为与工件两侧外形匹配的折弯板状结构，第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶与阴极座同轴铰接相连，转角驱动装置包括第一伺服电机和传动齿轮机构，第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶上分别设有啮合齿轮，第一伺服电机通过传动齿轮机构上不同转向的齿轮与第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶上的啮合齿轮啮合传动，实现第一磁控阴极靶和第二磁控阴极靶同步反向转动，控制系统控制第一伺服电机启停和转向。

作为本发明的进一步改进，所述真空腔体内还设有沿工件长度方向延伸的阴极轨道，所述阴极轨道上设有阴极小车，进给驱动装置驱动阴极小车运动沿阴极轨道延伸方向运动，阴极座固定安装于阴极小车上。

作为本发明的进一步改进，所述进给驱动装置包括滚珠丝杠传动机构和第二伺服电机，第二伺服电机通过滚珠丝杠传动机构驱动阴极小车运动，控制系统控制第二伺服电机启停和转向。