[发明专利]基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010251219.4 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111262551A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02;H01L41/187 |
| 代理公司： | 广州凯东知识产权代理有限公司 44259 | 代理人： | 李勤辉 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术开*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 铌酸锂 薄膜 空气 剪切 谐振器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于，包括：
衬底，所述衬底的上端中部设置有开口向上的第一凹槽，所述衬底的下端中部设置有开口向下的第二凹槽；
第一保护层，所述第一保护层覆盖生长于所述第一凹槽的内表面；
第一压电层，所述第一压电层覆盖所述第一凹槽生长于所述衬底的上端面；所述第一压电层与所述第一保护层共同形成第一空气腔；以及
第一电极，所述第一电极通过磁控溅射沉积生长于所述第一压电层的上端面。
2.根据权利要求1所述的一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于：还包括第二保护层、第二压电层和第二电极；所述第二保护层覆盖生长于所述第二凹槽的内表面；所述第二压电层覆盖所述第二凹槽生长于所述衬底的下端面；所述第二压电层与所述第二保护层共同形成第二空气腔；所述第二电极通过磁控溅射沉积生长于所述第二压电层的下端面。
3.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于：所述第一保护层和所述第二保护层均采用Si3N4、SiO2中一种材料；所述第一保护层和所述第二保护层的厚度均为1um～3um。
4.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于：所述第一压电层和所述第二压电层均采用铌酸锂压电材料制作而成；所述第一压电层和所述第二压电层的厚度均为200nm～6um。
5.根据权利要求2所述的一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于：所述第一电极和所述第二电极均采用Pt、Mo、Ag、Al和Au中的一种电极材料；所述第一电极和所述第二电极的厚度均为50nm～800nm。
6.根据权利要求5所述的一种基于铌酸锂薄膜的空气隙型剪切波谐振器，其特征在于：
所述第一电极的电极间距为400nm～6um；所述第一电极的宽度为400nm～4um；所述第一电极的长度为40um～200um。
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