[发明专利]确定质量粒子束的波前的方法和设备

权利要求书

1.用于确定质量粒子束(225、510、1910)的波前(550)的方法(3300)，该方法(3300)包括下列步骤：

a.在不同记录条件(315、325)下使用该质量粒子束(225、510)记录(3320)参考结构(130)的两个或多个图像(310-390)；

b.以该参考结构(130)的修改的参考图像(480)产生(3330)两个或多个记录的图像(310-390)的点扩散函数(1750)；以及

c.为确定该波前(550)，基于产生的点扩散函数(1750)和该不同记录条件(315、325)执行(3340)该质量粒子束(225、510)的相位重建。

2.根据权利要求1所述的方法(3300)，其中该不同记录条件(315、325)包括该质量粒子束(225、510)的来源(205)和/或成像系统(220)的不同参数设定和/或检测设备(230、240)的不同参数设置，所述检测设备记录所述图像(310-390)。

3.根据前述权利要求中任一项所述的方法(3300)，其中当记录所述两个或多个图像(310-390)时，所述不同记录条件(315、325)包含该质量粒子束(225、510)的不同聚焦设定(315、325)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法(3300)，其中该参考结构(130)的参考图像(450)代表使用该质量粒子束(225、510)对该参考结构(130)的至少一个记录，其中该参考结构(130)配置在该质量粒子束(225、510)的焦点上。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法(3300)，其中当记录该参考结构(130)的两个或多个图像(310-390)时，该参考结构(130)的修改的参考图像(480)实质上校正假影(430、440、460)。

6.根据权利要求5所述的方法(3300)，其中假影(430、440、460)是由以下原因造成：当使用该质量粒子束(225、510)对该参考结构(130)成像时，由该质量粒子束(225、510)对该参考结构(130)的静电充电和/或所述两个或多个记录的图像(310-390)中的该参考结构(130)的至少一个边缘(470)的至少一个边缘效应(460)。

7.根据权利要求5或6所述的方法(3300)，其中校正该至少一个假影(430、440、460)包括：确定该参考结构(130)的静电充电的效应和/或所述两个或多个记录的图像(310-390)中的至少一个边缘效应(460)的效应。

8.根据权利要求7所述的方法(3300)，其中确定该参考结构(130)的静电充电(420)的效应和/或该至少一个边缘效应(460)的效应包括：仿真该参考结构(130)的静电充电(420)和/或该至少一个边缘效应(460)。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的方法(3300)，其中校正该至少一个假影(430、440、460)包括修改该参考结构(130)的参考图像(450)。

10.根据前述权利要求中任一项所述的方法(3300)，其中产生点扩散函数(1750)包括：以该参考结构(130)的修改的参考图像(480)对所述两个或多个记录的图像(310-390)进行反卷积。

11.根据权利要求1-4中任一项所述的方法(3300)，其中该修改的参考图像(480)对应于未修改的参考图像(450)。

12.根据前述权利要求中任一项所述的方法(3300)，还包括下列步骤：使用该质量粒子束(225、510)提供该参考结构(130)和/或特征化该参考结构(130)。