[发明专利]洁净室内污染源污染气快速清除系统

说明书

本发明公开了一种洁净室内污染源污染气快速清除系统。高架地板的孔板的空隙内安装有多个光电传感器组。设备层内设有吸气管道、接驳管道、导轨和导轨驱动装置，吸气管道与导轨驱动装置连接并可平移地安装在两条平行的导轨上，吸气管道位于高架地板的下面，接驳管道固定安装于设备层内，接驳管道位于吸气管道的下面并与吸气管道垂直交叉设置，接驳管道的一端与压缩电机连接。高架地板、吸气管道、接驳管道、压缩电机和夹层回风通道共同连通起来形成将洁净区内的污染源产生的污染气排出的通道。光电传感器组、吸气管道、导轨驱动装置和压缩电机与控制器连接。本发明能够对洁净室内的污染源，特别是移动污染源产生的污染空气进行快速清除。

技术领域

本发明涉及一种对诸如电子洁净厂房等洁净室内的污染源，特别是移动污染源产生的污染气进行快速清除的系统，属于污染清洁设备技术领域。

背景技术

电子洁净厂房等洁净室内的污染源主要是人、各种被加工的材料和加工设备等。当有新增污染源的时候，传统的清除方法是增加空调系统的回风次数，或加大几十个FFU(自带动力的风机过滤装置)输出，而对于移动污染源产生的局部污染，采用同样的处理方法的话，不仅不能快速清除污染气，还会增加FFU的能耗。因此，如何精确快速地对污染源，特别是移动污染源进行清除的研究已成为业内的热点。由此可见，设计出一种能够快速清除污染源，特别是例如行走中的人、移动的车辆和流水线上的产品等移动污染源污染的空气的设备，是目前急需解决的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种洁净室内污染源污染气快速清除系统，其能够对洁净室内的污染源，特别是移动污染源产生的污染空气进行快速清除。

为了实现上述目的，本发明采用了以下技术方案：

一种洁净室内污染源污染气快速清除系统，洁净室包括承重墙和高架地板，承重墙内设有夹层回风通道，高架地板的下方为设备层，高架地板的上方为洁净区，洁净区的上方为吊顶层，吊顶层的下面安装有多个FFU，其特征在于：高架地板的孔板的空隙内安装有多个光电传感器组；设备层内设有吸气管道、接驳管道、导轨和导轨驱动装置，吸气管道与导轨驱动装置连接并可平移地安装在两条平行的导轨上，吸气管道位于高架地板的下面，接驳管道固定安装于设备层内，接驳管道位于吸气管道的下面并与吸气管道垂直交叉设置，接驳管道的一端与压缩电机连接；高架地板、吸气管道、接驳管道、压缩电机和夹层回风通道共同连通起来形成将洁净区内的污染源产生的污染气排出的通道；光电传感器组、吸气管道、导轨驱动装置和压缩电机与控制器连接。

本发明的优点是：

本发明能够对洁净室内的污染源，特别是例如行走中的人、移动的车辆和流水线上的产品等移动污染源产生的污染空气进行快速清除，避免FFU(自带动力的风机过滤装置)增加能耗，以及在避免加大回风量的基础上可使室内空气流量加大，保障洁净室内污染气被迅速排除，避免洁净室受到污染。

附图说明

图1是本发明洁净室内污染源污染气快速清除系统在洁净室内的安装示意图。

图2是吸气管道与接驳管道之间的安装位置关系示意图。

图3是吸气管道的俯视示意图。

图4是图3的A-A向剖视示意图。

图5是接驳管道的俯视示意图。

图6是图5的B-B向剖视示意图。

图7是接驳联动器的组成示意图。

具体实施方式