[发明专利]一种可定位固定多种基板的夹具机构

权利要求书

1.一种可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于包括XY托板(1)，旋转机构，微调机构，载片台(6)，X定位靠边(71)，Y定位靠边(72)；所述的载片台(6)位于XY托板(1)上方并通过旋转机构与XY托板(1)连接；微调机构包括微调螺纹副主动调节部(31)、微调螺纹副被动调节部(32)、拉簧(4)；微调螺纹副主动调节部(31)固定安装在XY托板(1)上；微调螺纹副被动调节部(32)与载片台(6)固定连接；拉簧(4)的一端与XY托板(1)固定连接，另一端与载片台(6)固定连接；转动微调螺纹副主动调节部(31)的旋钮可推动微调螺纹副被动调节部(32)转动从而带动载片台(6)转动并在拉簧(4)的作用下回位；X定位靠边(71)和Y定位靠边(72)相互垂直固定在载片台(6)上；载片台(6)上分布有多个真空吸附口(63)，各真空吸附口(63)连接外部真空泵。

2.根据权利要求1所述的可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于所述的旋转机构包括交叉棍子轴承(2)和连接板(5)；交叉棍子轴承(2)的外圈(21)与XY托板(1)固定连接，内圈(22)与连接板(5)固定连接；所述的载片台(6)固定安装在连接板(5)上。

3.根据权利要求1所述的可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于所述的载片台(6)内部分布多个真空通道(61)，各真空通道(61)与载片台(6)上表面的对应真空吸附口(63)通过相互垂直交叉的通槽(62)连通，并且真空通道(61)在载片台(6)边缘开口。

4.根据权利要求1所述的可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于所述的载片台(6)内部分布多个真空通道(61)，各真空通道(61)与载片台(6)上表面的对应真空吸附口(63)通过多个气孔连通，并且真空通道(61)在载片台(6)边缘开口。

5.根据权利要求3或4所述的可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于所述的真空通道(61)在载片台(6)边缘开孔为螺纹孔，该螺纹孔与快插接头(81)连接，快插接头(81)的另一端通过气管(82)连接节流阀(83)，节流阀(83)与外部真空泵连接。