[发明专利]一种基于SU-8胶电解法制备纳米尺度电射流喷头的方法有效
| 申请号： | 202010253691.1 | 申请日： | 2020-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111438944B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 殷志富;杨雪;贾炳强;胡伟;李露 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B29C64/209 | 分类号： | B29C64/209;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 长春市恒誉专利代理事务所(普通合伙) 22212 | 代理人： | 李荣武 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 su 解法 制备 纳米 尺度 射流 喷头 方法 | ||
1.一种基于SU-8胶电解法制备纳米尺度电射流喷头的方法，其特征在于，包括以下步骤：
一、纳米尺度电射流喷头的微米结构制造
（1） 在硅基底上旋涂一层厚度20微米的SU-8胶光刻胶，旋涂速度为3000转/分钟，旋涂时间为30秒；对SU-8胶进行不完全前烘，前烘温度为70摄氏度，时间为4-5分钟；
（2） 将光刻掩膜板与SU-8胶基底进行对准，对SU-8胶进行过曝光，曝光时间为15分钟；将SU-8胶基底显影4-5分钟后，形成纳米尺度电射流喷头的微米结构；
二、纳米尺度电射流喷头的纳米沟道制造
（1） 在电射流喷头上，利用8B铅笔勾画一条石墨烯直线，作为纳米裂纹诱导图形；采用银浆分别在石墨烯直线两端各固定一条导线；
（2） 在导线两端施加2300-2500伏特/厘米高压电；利用酒精超声清洗后，诱导图形正下方形成宽深均为纳米尺度的裂纹，形成电射流喷头的纳米沟道；
三、纳米尺度电射流喷头封装
（1） 在PDMS基底上旋涂一层厚度10微米的SU-8胶，旋涂速度为8000转/分钟，旋涂时间为30秒；将SU-8胶完全烘干，前烘温度为90摄氏度，前烘时间为15分钟；
（2） 将PDMS和硅基底对准后进行热压键合，键合温度为50摄氏度，键合压力为0.5兆帕，键合时间为15分钟；键合后揭去PDMS基底，SU-8胶将转移至纳米尺度电射流喷头上，形成纳米尺度电射流喷头盖板；
（3） 利用掩膜板将纳米尺度电射流喷头进行完全曝光，曝光时间为6-8分钟；显影4分钟后，形成纳米尺度电射流喷头储液池；
在垂直于纳米通道的位置将电射流喷头进行切割，露出纳米通道断面；利用点焊机将铜导线焊接至储液池位置，形成最终的纳米尺度电射流喷头。
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